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Analizador de composición metálica RoHS(sxes: soft X - Ray Emission spectrometer) logra una alta resolución energética combinando rejillas de difracción recién desarrolladas y cámaras de rayos X de alta sensibilidad.
Al igual que el eds, se puede detectar en paralelo y se puede analizar en una resolución de alta energía de 0,3ev (referencia al - l en el borde fermi), superando la resolución de energía del wds.

Analizador de composición metálica RoHSIntroducción al sistema: el último sistema de División de luz desarrollado y diseñado puede obtener mapas espectrales de diferentes energías al mismo tiempo sin mover rejillas de difracción o detectores (cdc). Y debido a la alta resolución energética, también se puede recoger el mapa de distribución de análisis de Estado.

Comparación de sxes, wds y EDS de espectros de muestras de nitruro de titanio en varios métodos de espectrometría
Incluso en el análisis wds, los picos espectrales del nitruro de titanio se superponen, lo que requiere un método matemático de deconvolución. Como se muestra en la siguiente imagen, sxes tiene una alta resolución energética.

Tabla de comparación
| Características | SXES | EPMA (WDS) | EDS |
| resolución | 0,3 eV (al - l al lado de fermi) |
8 eV ( FWHM@Fe-K ) | 120-130 eV ( FWHM@Mn-K ) |
| Análisis del Estado de unión química | puede | Sí (principalmente elementos ligeros) | No se puede |
| Detección paralela | puede | No se puede (pero se puede dividir en el rango de número de espectrómetros) |
puede |
| Cristales y detectores espectrales | Rejilla de difracción + CLD | Cristal divisor de luz + tubo de conteo proporcional | SDD |
| Enfriamiento del detector | Enfriamiento de perte | no es necesario | Enfriamiento de perte |
| Límite de detección (con B como valor de referencia) | 20 ppm | 100 ppm | 5000ppm |
Ejemplo de análisis de baterías secundarias de iones de litio (lib)
Se puede observar la carga de Lib

Mapa espectral de la muestra Li - K después de la carga completa

Explicación: la detección del óxido de litio es difícil por razones teóricas
Ejemplos de prueba de elementos ligeros
Ejemplos de la prueba de compuestos de carbono por sxes
Se pueden probar las diferencias entre diamantes, grafito y polímeros.

Ejemplos de prueba de varios compuestos de nitrógeno el nitrógeno también puede analizar el Estado de unión química en función de la forma de onda. Las formas de onda de los nitratos y Nitruros son diferentes, y también se pueden observar formas de onda de sales de amonio vulnerables al daño del haz de electrones.
