MKS Revolution RPS ax7690 fuente de plasma remota

MKS Revolution RPS ax7690 fuente de plasma remotaProporcionar fuentes de gas de reacción de alto rendimiento y limpias necesarias para el procesamiento de obleas semiconductoras.La innovadora R * Evolution es un producto de la nueva colección de fuentes de plasma de largo alcance especialmente diseñadas para aplicaciones "onwafer", que combina la tecnología de plasma anular de bajo campo verificada en el sitio de MKS y el diseño de aplicadores de plasma de * para generar partículas atómicas neutras ultralimpias o radicales.

Los radicales libres atómicos son importantes en muchos procesos, como la eliminación de fotorresistentes, la prelimpieza de obleas y la nitrificación y oxidación de películas.Los radicales libres suelen producirse mediante la producción de plasma.Sin embargo, las partículas cargadas asociadas a veces no son bienvenidas.Para evitar estos efectos adversos, se produce plasma en el exterior y se transportan eficazmente los radicales libres a la Cámara de procesamiento.

MKS Revolution RPS ax7690 fuente de plasma remotaEl generador de gas de reacción integra la Cámara de vacío de cuarzo, la fuente de alimentación de radiofrecuencia y todos los dispositivos de control necesarios en una unidad compacta e independiente para facilitarInstalado directamente en la Sala de procesamiento de la herramienta.El resultado es la obtención de fuentes atómicas de radicales libres extremadamente limpias, lo que genera las reacciones necesarias en la obleas, al tiempo que reduce considerablemente la complejidad.La fuente de plasma remota R * Evolution puede proporcionar hasta 6 kW de potencia de plasma, proporcionando un alto flujo de radicales libres (hasta 5 slm) para el proceso, lo que duplica la velocidad de desprendimiento o grabado en comparación con los sistemas de microondas tradicionales.Debido a su alta eficiencia y bajo costo, la fuente de plasma remota R * Evolution puede reducir significativamente los costos generales de inversión y operación de herramientas.Además, su tamaño más pequeño y su diseño simple facilitan la instalación, operación y mantenimiento fáciles para los usuarios.