Fuente de alimentación de radiofrecuencia AE rfg 3001 13,56 MHz 3kw

Fuente de alimentación de radiofrecuencia AE rfg 3001 13,56 MHz 3kwGenerador RFEs una fuente de alimentación de radiofrecuencia de alto rendimiento con excelente estabilidad y capacidad de control del proceso, que se ha verificado durante mucho tiempo, puede lograr un control preciso de la salida de radiofrecuencia y tiene un excelente rendimiento en procesos como pulverización de semiconductores, grabado, CVD y pecvd.La fuente de alimentación de radiofrecuencia de la serie AE rfg tiene una excelente estabilidad del proceso y capacidad de control de radiofrecuencia, y puede lograr un control preciso de la salida de radiofrecuencia. La fuente de alimentación de radiofrecuencia de la serie rfg tiene una buena capacidad de formación de película, una velocidad de formación de película rápida y una alta eficiencia, y es ampliamente utilizada en el proceso de película de proceso de semiconductores, lo que puede mejorar la eficiencia de la línea de producción y la tasa de rendimiento del producto hasta cierto punto. Este tipo de fuente de alimentación de radiofrecuencia adopta un diseño compacto en su conjunto, que es pequeño y conveniente, y puede reducir los costos de uso de los clientes.

Fuente de alimentación de radiofrecuencia AE rfg 3001 13,56 MHz 3kwGenerador RFEspecificaciones de parámetros

Marca del dispositivo: AE (advanced energy)

Modelo de dispositivo: rfg 3001

Entrada de alimentación de ca: 3 fases ~, ~ 208v / pe, 50 / 60Hz

Salida de radiofrecuencia de radiofrecuencia: 13,56 mhz, 3000w, 387v ~.

Interfaz de comunicación: control, CEx

Disipación de calor del equipo: disipación de calor refrigerada por agua

Demanda de entrada de agua refrigerada por agua: presión de entrada de agua Max 6,9 Bar / 690kpa