Fuente de alimentación de radiofrecuencia MKS rd5060z 60mhz 2000w

Fuente de alimentación de radiofrecuencia MKS rd5060z 60mhz 2000wGenerador RFEs un excelente generador de radiofrecuencia con rendimiento confiable y capacidad de salida estable verificado en el sitio, que refleja una excelente estabilidad del proceso y capacidad de control de salida en la verificación de la máquina real. Este tipo de fuente de alimentación de radiofrecuencia puede lograr un control preciso de la salida de radiofrecuencia y es ampliamente utilizado en el proceso de pulverización de semiconductores. CVD、PECVD、 En procesos como el grabado, y tiene un excelente rendimiento. La fuente de alimentación de radiofrecuencia rd5060z tiene una excelente capacidad de formación de película. en el proceso de película semiconductora, tiene las ventajas de una rápida formación de película, una alta eficiencia y una buena calidad. hasta cierto punto, puede mejorar la eficiencia de la línea de producción y el rendimiento del producto terminado, y tiene una amplia gama de aplicaciones.

Fuente de alimentación de radiofrecuencia MKS rd5060z 60mhz 2000wGenerador RFEspecificaciones de parámetros

Marca del equipo: MKS

Modelo de dispositivo: rd5060z

Entrada de alimentación de ca: 3 Fase ~, 480v, 15a

Salida de radiofrecuencia de radiofrecuencia: dual 2,0 kw, 60 MHz

通讯接口： Entrada/Salida CEX, Profibus, EtherNet, Entrada/Salida de sincronización, Reservado, RS-232C

Disipación de calor del equipo: disipación de calor refrigerada por agua

Peso del equipo: 445 kg, 98 lbs