Fuente de alimentación de radiofrecuencia MKS 53 - S30 - 64 63,87 MHz 18kw

Fuente de alimentación de radiofrecuencia MKS 53 - S30 - 64 63,87 MHz 18kw Generador RFEs un excelente generador de radiofrecuencia con rendimiento confiable y capacidad de salida estable verificado en el sitio, que refleja una excelente estabilidad del proceso y capacidad de control de salida en la verificación de la máquina real. Este tipo de fuente de alimentación de radiofrecuencia puede lograr un control preciso de la salida de radiofrecuencia y es ampliamente utilizado en el proceso de pulverización de semiconductores. CVD、PECVD、 En procesos como el grabado, y tiene un excelente rendimiento. La fuente de alimentación de radiofrecuencia rd5060z tiene una excelente capacidad de formación de película. en el proceso de película semiconductora, tiene las ventajas de una rápida formación de película, una alta eficiencia y una buena calidad. hasta cierto punto, puede mejorar la eficiencia de la línea de producción y el rendimiento del producto terminado, y tiene una amplia gama de aplicaciones.

Fuente de alimentación de radiofrecuencia MKS 53 - S30 - 64 63,87 MHz 18kw Especificaciones de parámetros del generador de radiofrecuencia

Marca del equipo: MKS

Modelo de equipo: 53 - S30 - 64

Entrada de alimentación de ca: 3 fases ~, 380 / 400 vac ± 10%, 16a, 50 / 60Hz

Salida de radiofrecuencia de radiofrecuencia: 63,87 mhz, 18kw pulsed, 540watts, 50 Omega

Interfaz de comunicación: remote, RS - 232c

Disipación de calor del equipo: disipación de calor por aire