Fuente de alimentación de radiofrecuencia AE Paramount MF 15002 15kw

Fuente de alimentación de radiofrecuencia AE Paramount MF 15002 15kwGenerador de RF de 1.8-2.17MHzEs una fuente de alimentación de radiofrecuencia de alto rendimiento con capacidad de salida estable y capacidad de control verificada a largo plazo en el sitio, que muestra una excelente estabilidad del proceso durante el funcionamiento real. La fuente de alimentación de radiofrecuencia de la serie AE Paramount tiene una excelente capacidad de formación de película y es ampliamente utilizada en el proceso de película semiconductora. esta fuente de alimentación de radiofrecuencia tiene una velocidad de formación de película rápida y una alta eficiencia, lo que puede mejorar la eficiencia de la línea de producción y la tasa de rendimiento del producto hasta cierto punto. La fuente de alimentación de radiofrecuencia MF 15002 puede lograr un control preciso de la salida de radiofrecuencia y salpicar en el proceso de semiconductores. CVD、PECVD、 Hay más aplicaciones y buen rendimiento en el proceso de grabado.

Fuente de alimentación de radiofrecuencia AE Paramount MF 15002 15kwEspecificaciones de parámetros

Marca del dispositivo: AE (advanced energy)

Modelo de dispositivo: Paramount MF 15002

Entrada de alimentación de ca: 3 Fase ~ + pe, 200 a 208v, 50 / 60hz, 70A

¿Salida de radiofrecuencia de radiofrecuencia: 15 kw, 1,8 a 2,17 mhz, ¿ 1000vrms?

通讯接口： Sincronización Entrada/Salida, Entrada/Salida CEX, Compatibilidad, Usuario, Serial, ENET

Disipación de calor del equipo: disipación de calor refrigerada por agua

Demanda de entrada de agua refrigerada por agua: presión de entrada de agua Max 6,9 Bar / 690kpa