Micromecánica láser

Reparación láser de alta precisión para el corte de alambre de conexión en chips semiconductores

El sistema micro Vega FC puede realizar un alto rendimiento para diferentes aplicaciones en la industria de semiconductores.Micromecánica láser. El sistema combina tecnología de alta precisión con alto rendimiento dinámico. Por lo tanto, sus posibles aplicaciones incluyen:

• Programación de circuitos lógicos digitales,

• Reparación de potenciómetros digitales,

• Reparación de la memoria semiconductora en el chip,

• Eliminación de microled caducado.

Gracias a su configuración de herramientas altamente flexible, el micro Vega FC es capaz de procesar obleas de 200 y 300 mm, con velocidades de procesamiento de hasta 400 mm / s, lo que la convierte en una solución de producción ideal en términos de costo, rendimiento, rendimiento y sensibilidad.

El micro Vega FC utiliza un punto láser de un dígito a nivel de micras que se mueve continuamente sobre una obleas semiconductoras. En este proceso, el láser procesa selectivamente microestructuras específicas a alta velocidad. Debido a que estas estructuras son pequeñas en tamaño (aproximadamente 1 - 2 micras), se requiere que el punto láser sea muy alto en relación con estas estructuras.Precisión de posicionamiento tridimensional. Para ello, el microvega FC está equipado con técnicas de medición integradas para lograr un control del proceso del 100%.