Recocido láser

Ultravioleta de alta velocidad para la formación de contacto ohmicoRecocido láserEl sistema micropro XS ocf ofrece una plataforma multifuncional para lograr una alta repetibilidad y alto rendimiento.Recocido láser. El sistema combina módulos ópticos láser estables con plataformas de procesamiento modular 3D - micromac y es muy adecuado para la formación de contacto ohmico (ocf) de dispositivos de potencia de carburo de silicio (sic).

El micropro XS ocf utiliza una fuente láser sólida bombeada por diodos (dpss) de longitud de onda ultravioleta, con funciones de pulso nanosegundo y escaneo de manchas, que pueden procesar toda la parte posterior metálica de la obleas sic. * Los procedimientos de proceso y el diseño optimizado de la Cámara reducen la producción de partículas. El contorno del punto láser ajustable por separado permite al sistema procesar obleas con diferentes componentes de materiales.

Características principales

• Rendimiento de vanguardia de la industria (hasta 22 wph / 6 pulgadas de obleas)

• Excelente uniformidad de la resistencia cuadrada (rs) (delta < 1,1%)

• Soporte para el empalme sin fisuras de obleas de 6 y 8 pulgadas - sin necesidad de reemplazar el equipo

• Puede procesar obleas ultrafinas

• Pequeña superficie ocupada

• Función automatizada de estabilización del haz

Configuración opcional

• Soporte para el procesamiento de obleas de 6 y 8 pulgadas

• Función automática de manipulación y prealineación de obleas ultrafinas para aplicaciones de producción

• Interfaz secs / gem