Detector de contenido de composición elemental de alta precisión en materiales semiconductores

Detector de contenido de composición elemental de alta precisión en materiales semiconductores

Tecnología e instrumentos de detección básicos

1. Espectrómetro de emisiones de plasma acoplado inductivamente (icp - oes)

• Instrumentos utilizados en el laboratorio..ICP-OES)DetallesResumen:

• InstrumentosCaracterísticas de rendimiento:

• 1,Alto grado de automatización de instrumentos

• Grado de automatización del instrumentoaltoTodas las operaciones se realizan con software, excepto el interruptor de alimentación. El software inteligente puede proporcionar retroalimentación e información en tiempo real sobre varias operaciones en tiempo real.

• 2,Fuente de alimentación de radiofrecuencia de estado sólido segura y confiable

• La fuente de alimentación de radiofrecuencia utilizada por el instrumento tiene un tamaño pequeño, una alta eficiencia de salida, una potencia de salida estable, con diversas funciones de protección de seguridad, como vías navegables, vías de gas y sobrecarga, lo que mejora en gran medida la seguridad del instrumento y reduce la tasa de falla del instrumento.

• 3. tecnología de encendido y emparejamiento totalmente automático

• El software se puede encender con un solo clic completamente automático, y todos los cambios en la configuración de los parámetros se completan automáticamente. Con la tecnología de emparejamiento automático, la tasa de éxito de encendido es alta y la operación es simple.

• 4. función inteligente de monitoreo de llamas

• El instrumento está equipado con sensibilidadaltoEl sensor de fibra óptica, que puede monitorear el funcionamiento de la llama en tiempo real en el Estado de funcionamiento del instrumento, puede apagar automáticamente el instrumento en caso de apagado Anormal.

• 5. sistemas de trayectoria óptica de ultra alta resolución

• El instrumento está equipado con una resolución súper altaRejilla importada de la línea tallada 4320, con*La tecnología de ajuste de la ruta óptica, que aproxima la resolución de los instrumentos ordinarios0, 008 nm se reduce a menos de 0, 005 nm, y la resolución súper alta garantiza que no haya interferencia mutua entre los elementos de prueba.

• 6,PrecisiónaltoSistema de temperatura constante

• El Camino óptico general del instrumento está protegido por un sistema de temperatura constante de precisión, y el control de la temperatura se puede establecer en tiempo real de acuerdo con la temperatura ambiente real del laboratorio del cliente, sin necesidad de abrir ininterrumpidamente durante mucho tiempo, y la precisión del control de temperatura.≤ 0, 1 ° c, el sistema preciso de temperatura constante garantiza la estabilidad del Camino óptico y los datos de prueba son más estables.

• 7. sistema de control de flujo de aire de alta precisión

• El gas de plasma, el gas Auxiliar y el gas portador en el trabajo del instrumento utilizan controladores de flujo de masa de alta precisión.Fc) para el control, con un flujo continuo ajustable y una alta precisión del flujo de aire de salida, garantiza la precisión de los datos de prueba.

• 8,Dispositivo de inyección de muestra de bomba peristáltica

• El instrumento está equipado con una bomba peristáltica de alta precisión con doce rodillos de canal, que puede garantizar la precisión de la inyección de muestras y evitar la acumulación de líquido al mismo tiempo, y la velocidad de rotación de la bomba peristáltica es ajustable continuamente para satisfacer los múltiples requisitos de prueba de los clientes.

• 9. ajuste automático de la posición de Observación

• El instrumento está diseñado con una plataforma móvil bidimensional, que puede ajustar la posición del tubo de la antorcha en tiempo real a través del software y encontrar la posición de observación optimizada a través del valor de la señal de retroalimentación para obtener una mayor sensibilidad y obtener resultados de prueba precisos.

• 10. costos de uso ultra Bajos

• En el Estado no operativo del instrumento, la fuente de alimentación del instrumento, el tanque de agua de refrigeración y el gas se apagan por completo, sin ningún costo, el instrumento se abre y se utiliza cuando funciona, sin necesidad de un largo período de calentamiento de la carretera óptica. La pureza del argón utilizado es99,99*Está bien, no se necesita argón de alta pureza del 99,999%, y el ahorro de costos es de al menos un tercio.

• 11. sensibilidadaltoDetector

• El instrumento está equipado con un tubo Fotomultiplicador importado de alta sensibilidad..Pmt) como detector, puede establecer automáticamente los parámetros de prueba para diferentes elementos a probar para lograr el Estado de prueba ideal y dar resultados de prueba precisos. No se necesita refrigeración, no se necesita soplar y la vida útil es larga.

• ICP-OESInstrumentosParámetros técnicos:

• 1. fuente de alimentación de entrada: tensión AC 220v, corriente 20a.

• 2,adoptarEl Camino óptico tipo czernyturner tiene una distancia focal de 1000 mm.

• 3. rejillas holográficas de grabado de iones, con un área de grabado (80 × 110) mm.

• 4,Encendido automático con un solo clic, coincidencia automática, encendido estable y conveniente.

• 5. se utiliza un atomizador concéntrico combinado con una cámara de niebla giratoria, con una intensidad de 1ppmmn superior a 1000000 cps.

• 6. resolución (mn257, 610 nm): ≤ 0, 005 nm (rejilla de línea tallada 4320); ≤ 0, 008 nm (rejilla de línea tallada 3600); ≤ 0, 015 nm (rejilla de 2.400 líneas talladas).

• 7. rango de longitud de onda: 190 - 460 nm (rejilla de línea tallada 4320); 190 - 500nm (rejilla de línea tallada 3600); 190 - 800nm (rejilla de 2.400 tallas)

• 8. desarrollar de forma independiente una fuente de alimentación de radiofrecuencia de Estado sólido, con una potencia de salida de 800 - 1600w, ajustable continuamente, con una eficiencia de alimentación superior al 65%, una frecuencia de trabajo de 27 y 12 mhz, una estabilidad de frecuencia inferior al 0,05% y una estabilidad de salida de potencia inferior al 0,05%.

2. Espectrómetro de fluorescencia de rayos X (xrf)

• Detección rápida de contaminantes metálicos en la superficie de las pastillas de silicio.

• Verificación de la pureza del crisol de cuarzo.

• Baja sensibilidad a elementos ligeros (como h, he, li, be) (límite de detección superior al 0,1%).

• La precisión cuantitativa se ve afectada por el efecto matriz (el error relativo es de aproximadamente 1% - 5%).

• Detección no destructiva: las muestras no necesitan ser disueltas o molidas, y se pueden analizar directamente sólidos, polvos y líquidos.

• Amplia gama de pruebas: se puede analizar la gran mayoría de los elementos, desde sodio (na) hasta uranio (u).

• Detección rápida: el tiempo de detección es de solo unos segundos a unos minutos, adecuado para la detección por lotes en la línea de producción.

• Tipo de dispersión de longitud de onda (wdxrf): alta resolución, adecuada para análisis cuantitativos de alta precisión.

• Tipo de dispersión energética (edxrf): rápido, portátil y adecuado para análisis in situ.

• Principio: irradiar la muestra con rayos x, estimular los rayos X fluorescentes característicos y determinar el tipo y el contenido de los elementos mediante la detección de la longitud de onda y la intensidad.

• clasificación:

• Ventaja:

• 局限性:

• escenarios de aplicación:

• escenarios de aplicación:

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