Medidor de espesor de polarización elíptica de espectro óptico completo se950

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Descripción general

Raditech se compromete con equipos de detección óptica, con una alta especialización en el campo de los equipos de medición óptica y puede proporcionar soluciones integradas. El lanzamiento del primer "medidor de polarización elíptica de todo el espectro óptico" y el "medidor de espesor de película reflectante de todo el espectro" casero por los chinos puede ayudar a la industria a avanzar hacia una mayor precisión y refinamiento, la tecnología va de la mano de las grandes fábricas internacionales, la precisión del producto es alta, el precio es competitivo y avanza constantemente hacia los fabricantes nacionales de equipos de medición óptica de precisión de la más alta calidad.

Detalles del producto

Ventajas:

1. función de punto de luz: el tamaño estándar del punto de luz es de 80x120 micras. El diseño óptico Especial se combina con el eje Z de alta precisión del nivel de molienda para eliminar automáticamente la reflexión en la parte posterior del sustrato transparente. Durante el proceso de enfoque, la posición de enfoque de la película se puede determinar automáticamente y la reflexión detrás del sustrato transparente se supera a través de la ranura óptica.

2. se utiliza el enfoque automático de la señal, y la señal de medición y la señal de enfoque son la misma señal para evitar eficazmente el error de posición de la medición.

3. seguimiento automático del detector de sesgo: mejorar considerablemente la precisión de medición del elipsometro, especialmente propicio para el análisis de materiales de la capa de película delgada polar y la precisión de PSI y△

4. atenuador ajustable automático eléctrico: se puede ajustar automáticamente o manualmente el grado de saturación de las diferentes señales de muestra (100% - 0,1%), y se puede configurar la intensidad de la señal ultravioleta y la señal de luz visible en secciones para obtener la mejor señal de medición.

5. Análisis automático y ajuste del software: proporciona la función de análisis previo del índice de refracción del espesor de la película, la capacidad de comparación de la base de datos de materiales desconocidos, el análisis automático del software simplifica la operación y supera las dificultades de medición que el elipsometro siempre ha sido operado por profesionales.

6. control remoto: romper las restricciones del elipsometro que requiere servicio y capacitación, y mejorar en gran medida la eficiencia del servicio post - venta

7. espectrómetro DUV de alta calidad: rango espectral de 220 nm - 1100 nm, (opcional a 1700 nm) resolución inferior a 1 nm con refrigeración semiconductora propia, alta relación dinámica, relación señal - ruido para minimizar el impacto del ruido

8. generación automática de mapas 2d o 3D y Análisis automático de datos, almacenamiento automático de espectros, datos se pueden resumir y cargar

9. el tiempo de prueba establecido con Recipe se reduce considerablemente a 1 - 3 segundos, lo que mejora la eficiencia de la prueba.

10. el diseño adopta una estructura de doble fibra óptica de fibra óptica resistente a la pasivación ultravioleta y una función avanzada de desconexión, lo que mejora en gran medida la estabilidad espectral y la fiabilidad del uso a largo plazo.

11. la precisión de repetibilidad del espesor de la película de la placa estándar de alta estabilidad es inferior a 0,5a, y la precisión de repetibilidad del índice de refracción es inferior a 00005.

12. el rango de prueba del espesor de la película es de 1 nm - 20 micras, que se puede probar en sustratos transparentes o opacos.

13. modelado gratuito

Especificaciones:

全光谱椭圆偏光测厚仪SE950

Principios ópticos:

Las ondas de luz se inclinan durante un corto período de tiempo desde que entran en contacto con la superficie del componente óptico hasta que salen de la superficie del componente óptico.El Estado de politización definitivamente cambiará. El polarizador elíptico es a la vez una especie de método para medir las ondas de luz.Componentes ópticos penetrantes, o instrumentos que reflejan cambios en el Estado polar antes y después de la superficie de los componentes ópticos. DeEl cambio en este Estado polar es el resultado de la interacción entre las ondas de luz y el material del componente óptico, porqueEsto puede deducir las propiedades físicas de la superficie del componente óptico de la situación de cambio del Estado del Polo sesgado. AquíLa superficie del componente óptico puede ser la superficie del componente óptico, o puede ser una sola película o varias capas.La pila de la película también puede ser una capa de contaminación en la superficie del componente óptico.
La luz se refleja por un ángulo de incidencia no cero a la superficie de la muestra debido al grosor de la muestra y la respuesta a la luz.(absorción o transparencia...) y produce un cambio en el Estado de polarización (produce un cambio en la fase y amplitud), esta mediciónLa forma que llamamos medición elíptica. Para cada longitud de onda en el momento de la medición, obtenemos dos parámetros independientes.Número y△

全光谱椭圆偏光测厚仪SE950

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