-
Correo electrónico
marketing@dymek.com
-
Teléfono
13917837832
-
Dirección
Habitación 306 - 308, edificio 6, Lane 2216, jingao road, pudong, Shanghai
Categorías de producto
- Micromecánica láser de precisión
- Sensor de desplazamiento microsense
- Equipos de grabado y depósito de plasma
- Elipsometro
- Medidor de espesor de película thetometricis
- Sistema de desmagnetización activa Stefan Mayer
- Máquina de exposición de alineación de máscaras
- Sistema de alineación de lentes ópticas (tranquilidad)
Daimei Instrument Technology Service (shanghai) co., Ltd.
FR-escáner-AIO-Mic-XY300
NegociableActualización en12/23
- modelo
- Naturaleza del fabricante
- Productores
- Categoría de producto
- Lugar de origen
Descripción general
El FR - scanner - AIO - Mick - xy300 es un sistema integrado de cartografía automática del espesor de la película para la medición del espesor de los recubrimientos de una sola capa y varias capas en obleas de patrón totalmente automáticas. La plataforma eléctrica de carga X - y proporciona un recorrido de 300mm x 300mm de tamaño adecuado, que se mide con precisión cuando se fija a la Plataforma de carga por vacío. Se pueden proporcionar diversas configuraciones ópticas en el rango espectral de 200 - 1700 nm de acuerdo con las necesidades de aplicación del espesor de medición y el rango de longitud de onda.
Detalles del producto
Perfil del producto:
El sistema modular de cartografía de espesor FR - scanner - allinone - Mick - xy300 integra módulos ópticos, electrónicos y mecánicos que se pueden utilizar simultáneamente para medir con precisión películas sin gráficos y gráficas (como superficies micrográficas, superficies ásperas).
Coloque la obleas en una ventosa de vacío (tamaño de la obleas ≤ 300mm de diámetro) y Equipe con piezas estándar de reflectividad. La medición se realiza por un potente módulo óptico, con un tamaño de punto tan pequeño como unos pocos micras. La plataforma Eléctrica ofrece un recorrido de 300 mm en la dirección XY y un excelente rendimiento en velocidad, precisión y repetibilidad
FR-escáner-AIO-Mic-XY300Se proporciona:
O medición espectral de la reflectividad en tiempo real
O espesor de la película, propiedades ópticas, medición de la falta de uniformidad, cartografía del espesor
O imágenes con cámaras de color de alta calidad integradas y conectadas a USB
O amplia Estadística de parámetros de medición
O función de alineación de patrones semiautomáticos para medir áreas gráficas cíclicas
oDiferenteFunciones de software, como: click2move (pantalla haciendo clic en el punto de medición de posicionamiento), escala
Anexo:
FR - autofocus: eje lineal de 100 mm de largo para el enfoque automático, con dos modos de operación: enfoque de imagen (contraste) / intensidad de reflexión
Módulo de rotación: la plataforma eléctrica del módulo de rotación ofrece alta resolución y precisión
FR - filterwheel: módulo de filtro eléctrico con ranuras con capacidad para 12 filtros controlados automáticamente por computadora: tamaño del filtro: 0,5 pulgadas de diámetro, hasta 6 filtros (1 pulgada)
FR - autoturret: la torreta automática está controlada por un ordenador con capacidad para cuatro objetivos: la velocidad de conmutación de la lente es de aproximadamente 1,0 - 3,0 segundos
Lenses: lente vis / NIR de larga distancia de trabajo: 5x, 10x, 20x, 40x, 50x
Lente ultravioleta / NIR reflectante: 10x, 15x, 25x, 40x
Pump: bomba de vacío de bajo ruido, 2,5l / min, vacío - 60 kpa.
Chucks: cartuchos de fotomáscara de 6 pulgadas 6 pulgadas con área de referencia, cartuchos multiobleas (100 - 300 mm y hojas de forma irregular), incluyendo área de referencia y área oscura, para referencia automática
Especificaciones:
Mapa de espesor bidimensional:
Mapa de espesor 3d:
Principio de medición:
Producto similar Recomendar
