Sistema automático de alineación de máscaras para instrumentos evg

Alineador IQ NTSistema automático de alineación de máscarasEs una plataforma de litografía de proximidad sin contacto altamente automatizada que puede satisfacer la demanda de reducir la contaminación de máscaras en la línea de producción a un nivel bajo y mejorar la vida útil de las máscaras y el rendimiento del producto. Además de las múltiples funciones de alineación, el sistema realiza una gran cantidad de instalación y verificación in situ a través de una configuración especial, que puede soportar y procesar automáticamente obleas deformadas o delgadas. La operación de emparejamiento híbrido entre la alineación superior o inferior estándar y la función de alineación ir integrada amplía aún más el campo de aplicación, especialmente en la puntualidad con el sustrato de ingeniería o Unión (unión). El sistema también apoya el control de salto de alineación de obleas a través de un conjunto de herramientas de control de temperatura de respuesta rápida.La intensidad de iluminación de los dispositivos ópticos de alta potencia se ha triplicado en comparación con el IQ alineador de generación anterior del evg, convirtiéndolos en una opción ideal para exponer resistencias gruesas y otras películas relacionadas con el tratamiento de protuberancias, pilares y otras características morfológicas altas.

Características de rendimiento del IQ alineador

• ■ herramienta de puente asistida cero - doble base, soporte para especificaciones de 200 mm y 300 mm

• ■ Movimiento de máscara de campo totalmente transparente (fcmm) para lograr un posicionamiento flexible del patrón y compatibilidad de alineación de máscara de campo oscuro
  

• ■ rendimiento sin comparación (primera impresión / alineación) > 200 wph / 160 wph

• ■ la precisión de alineación superior / inferior alcanza ± 250 Nm / + 500 nm

• ■ proceso de aproximación 100% sin contacto

• ■ capacidad de alineación de campo oscuro / máscara de eliminación de campo completo (fcmm)

• ■ compensación precisa del latido, logradaNaanBuena alineación superpuesta

• ■ Plataforma de software de marco inteligente de control de procesos y análisis de rendimiento

Datos técnicos

Compensación en forma de cuña: totalmente automática - control de software; Sin contacto

Función de alineación avanzada: alineación automática; Alineación de gran brecha; Alineación de control de salto; Alineación dinámica

Función de automatización industrial: casete / smif / foup / secs / gem / delgado, doblado, deformado, acabado de obleas de borde

Diámetro de la obleas (tamaño del sustrato): hasta 300 mm

Modo de alineación:

• Alineación lateral superior: ≤ 0,25 micras

• Alineación lateral inferior: ≤ 0,5 micras

• Calibración infrarroja: ≤ 2,0 micras / dependiendo del sustrato

Configuración de exposición: contacto al vacío / contacto duro / contacto suave / modo de aproximación / modo de flexión

Opción de exposición: exposición espaciada / exposición completa

Control del sistema:

• Sistema operativo: Windows

• Soluciones de intercambio de archivos y copia de Seguridad / fórmulas y parámetros ilimitados

• Gui y soporte para usuarios multilingües: cn, de, fr, it, jp, KR

• Acceso remoto en tiempo real, diagnóstico y resolución de problemas

aplicación

El IQ aligner NT es ideal para varios tipos de encapsulamiento avanzado, incluyendo encapsulamiento a nivel de chip de obleas (wlcsp), encapsulamiento a nivel de obleas de abanico (fowlp), agujero de silicio 3D - IC / directo (tsv), capa intermedia 2.5d y chip invertido.