Sistema de depósito de capa atómica en polvo ALD

Modelo: at - 200MPlus（PlasmaPotenciación+ deposición de capa atómica térmica(...)

Parámetros técnicos:

·Tamaño (l * w * h): 35,5 * 38,1 * 56,8 cm

·El recubrimiento en polvo es opcional (la capacidad puede alcanzar hasta 10 cm mu 3)

·Se pueden colocar muestras de 2 pulgadas por 2 pulgadas por 3 pulgadas o dos discos de 2 pulgadas (chuck personalizable y nuestras opciones de recubrimiento en polvo)

·3 puertos de precursores (1 metano, 2 latas,6 puertos opcionales(hasta 2 mfc, 4 tanques), con líneas de rastreo de calor de hasta 150 ° c (kit HT a 180 ° c)

·Plasma con cátodo hueco (13.56rf, 80w)

·Carcasa del cuerpo delantero ventilado

·Ald de pulso rápido resistente a altas temperaturasVálvulas,Equipado con metano ultrarápido para soplar gas inerte integrado - estándar

·Cámara de acero inoxidable completa,El rango de temperatura puede alcanzar los 300 ° C

·Se puede lograr una alta cobertura en modo de reacción estática

·Pantalla de 5 pulgadas con control integrado de PLC

·Incluyendo actualizaciones de software de por vida

·1 年保reparar

Opción: bomba de vacío, 4 puertos, generador de ozono (at - 03), calentador de botella, QCM, Control remoto de pc, cuerpo delantero ald, guantera, Kit HT (cuerpo delantero a 180 ° c), espumoso, pulverizador en polvo, Chuck de calentamiento (a 450 ° c)

Características del equipo:

1. deposición de la capa atómica de ALD de escritorio, que cubre un área pequeña;

2. Tipo caliente y actualizable función de refuerzo de plasmaV;

3. se puede seleccionar la función de paquete de polvo, que es especialmente adecuada para los clientes en el campo de la investigación de baterías;

4. el volumen es tan grande que se puede operar directamente en la guantera, especialmente adecuado para clientes en el campo de la investigación de baterías;

5. la operación y la instalación son extremadamente simples, lo que facilita que diferentes personas en el laboratorio operen experimentos.

Áreas de aplicación:

Recomendaciones especiales para aplicaciones en el sector energético

1. Aplicaciones en el campo de las baterías de iones de litio

Depósito de capa Atómica(ald) tiene enormes ventajas y perspectivas de aplicación en el encapsulamiento de películas nanoestructuradas debido a sus características de deposición conformal y control simple y preciso del espesor de la película. Un gran número de estudios han demostrado que el uso de ALD para envolver el material de electrodo en película nanométrica puede modificar eficazmente el material de la batería y mejorar el rendimiento de la batería. Además, ALD también se puede utilizar para sintetizar materiales electroliticos positivos, negativos y sólidos para la preparación de baterías de iones de litio.

2. Aplicación de ALD en el campo de las células solares

Las aplicaciones de la tecnología ALD en el campo de las células solares incluyen principalmente: ① preparación de fotoelectrodos de nanoestructura; ② modificación y pasivación de la superficie del electrodo; ③ sensibilización de la superficie del electrodo a través de puntos cuánticos o nanopartículas metálicas; ④ regular la banda de energía de las células solares sensibles a los tintes y las células solares de película delgada.

3. Aplicación de ALD en el campo de los supercondensadores

La tecnología ALD no solo se puede utilizar para preparar materiales activos de electrodos de alta capacidad específica, sino también para preparar nanoestructuras, estabilizar y mejorar las propiedades de los materiales de electrodos, y desempeña un papel importante en el campo de los supercondensadores de alta capacidad y alta estabilidad.Función.

4. Aplicación de ALD en el campo de las pilas de combustible

Ald tiene una amplia gama de aplicaciones en el campo de las pilas de combustible: los catalizadores de alta actividad adecuados para las pilas de combustible se pueden obtener ajustando la composición de los catalizadores metálicos (como las nanopartículas bimetálicas) y el tamaño de las nanopartículas metálicas; ② depositar partículas metálicas en la nanoestructura para preparar el ánodo de la pila de combustible; ③ preparar electrolitos sólidos de alto rendimiento para reducir la temperatura de funcionamiento de las pilas de combustible; ④ formar una capa protectora en la superficie del electrodo para mejorar la estabilidad y el rendimiento de la batería.

5. Aplicación de ALD en el campo del agua de descomposición fotoquímica

Debido a sus características de crecimiento, la tecnología ALD no solo puede preparar capas fotoactivas, sino también depositar capas de mejora de rendimiento o capas estables en fotoelectrodos, lo que resuelve algunos problemas que afectan el campo de la descomposición del agua de las baterías fotoquímicas.