La deposición de la capa atómica de ALD es compacta y económica.

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Descripción general

Este equipo de depósito de capa atómica ALD es especialmente adecuado para pequeños equipos de escritorio para usuarios de investigación científica. Es económico y práctico, fácil de operar, de calidad estable y confiable, bajo costo de consumibles post - venta, mantenimiento conveniente y fácil de operar. El Laboratorio de profesores expertos en ALD es ampliamente utilizado.

Detalles del producto

Introducción del equipo:
Este equipo de depósito de capa Atómica ald,Pequeños dispositivos de escritorio especialmente adecuados para usuarios de investigación científica. es económico y práctico, fácil de operar, calidad estable y confiable, bajo costo de consumibles post - venta, mantenimiento conveniente y fácil de operar. Ya es ampliamente utilizado en el laboratorio de profesores expertos en ald.

Introducción del equipo de I + d:

El dispositivo fue desarrollado por profesores del Grupo de profesores Roy G. grodon, un famoso equipo de ALD de harvard.

Académico Roy G. gordon, Profesor Thomas D. cabot, Departamento de química, Universidad de harvard, Estados Unidos. Las áreas de investigación involucran matemáticas aplicadas, física, química y Ciencias de materiales. En el campo de las matemáticas aplicadas se han desarrollado métodos de cálculo aproximado efectivos de funciones especiales (airy, bessel, weber, dawson, morse, etc.) y se han aplicado en campos como la mecánica cuántica y la dinámica química. En el campo de la física y la química, se propone la función potencial "gordon - kim", que se puede utilizar para calcular con precisión las fuerzas de interacción intermolecular. En el campo de la ciencia de los materiales, desde los años 80, el académico Roy Gordon se ha dedicado al estudio de precursores y procesos de depósito químico en fase de vapor (cvd) y depósito de capa Atómica (ald), desarrollando una serie de precursores que se pueden utilizar para el crecimiento de metales puros, óxidos metálicos, Nitruros y sulfuros, entre otros, y aplicarlos a la producción industrial. En la actualidad, los métodos técnicos inventados por el académico Roy gordon, que se utilizan en la industria, incluyen: la preparación de estructuras de película multicapa de óxido de estaño / sílice por CVD para ventanas de ahorro de energía;Preparación rápida de películas multicapa Nano Al2O3 / sio2 por ALD para dispositivos de filtro;Las nanopelículas de nitruro de titanio preparadas por ALD se utilizan como barreras de difusión de conductores de cobre y aluminio en chips de computadora;La preparación de películas Ito por CVD se aplica a las células solares de película delgada; Las películas de nitruro de aluminio preparadas por CVD se utilizan en pantallas de luminiscencia de campo.

Características del equipo:

1. el equipo es pequeño en tamaño y tamaño,Especialmente adecuado para la investigación de materiales de alto vacío y alta sensibilidad.No hay requisitos profesionales de limpieza, el modelo más pequeño se puede operar directamente en la guantera. También se pueden establecer diferentes formas de conexión con la guantera según sea necesario;

2. el equipo es adecuado para la investigación científica, y se puede utilizar como mínimo como sustrato de 2 pulgadas;

3. se puede realizar un paquete en polvo;

4. se puedeSelección del sitio de actualización del tipo térmico al tipo de plasmaV;

5. las mesas de muestras de hasta casi 100 sustratos se pueden personalizar de acuerdo con la demanda.

Si está interesado, Póngase en contacto con nosotros de inmediato.

Caso del usuario:

Universidad de harvard, Universidad de Helsinki (origen de ald), Universidad northwestern, Universidad de Cambridge (reino unido), Universidad de oxford, Universidad de rice, Universidad de Columbia Británica (canadá), ENS - París (francia, Universidad Normal superior), Instituto Nacional de Ciencias de materiales (japón, múltiples), Universidad de Waseda (múltiples), Universidad de tokio, Instituto de investigación cuántica de beijing, Universidad de pekín, Universidad de Bristol (reino unido), Universidad de sheffield, etc.

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