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Plataforma de nanodesplazamiento de pequeño volumen del eje Z Plataforma de nanocerámica piezoeléctrica

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Descripción general

Eje Z pequeña plataforma de nanodesplazamiento cerámica piezoeléctrica nanoplataforma nm - 005 nm - 010 enlace de precios personalizado

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Descripción del producto:

El nm - 005 es una plataforma de desplazamiento de nivel de presión de accionamiento directo en dirección Z. adopta el principio de diseño del mecanismo de accionamiento directo de cerámica piezoeléctrica. tiene las características de pequeño tamaño, sin fricción y velocidad de respuesta rápida. la configuración de sensores de alta precisión puede lograr una resolución nanométrica y una precisión de posicionamiento con alta fiabilidad. la Plataforma de desplazamiento piezoeléctrica desempeña un papel importante en el campo del posicionamiento de precisión.

El agujero de montaje fijo de la plataforma inferior se puede seleccionar con el agujero roscado m3, lo que facilita la instalación del usuario y debe señalarse al ordenar. El agujero de fijación de la Plataforma de la versión predeterminada es un agujero de diámetro 2.2.
El rango de viaje en forma es de 5 micras (circuito cerrado).
El nm - 010 es una plataforma de desplazamiento de nivel de presión de accionamiento directo en dirección Z. adopta el principio de diseño del mecanismo de accionamiento directo de cerámica piezoeléctrica. tiene las características de pequeño tamaño, sin fricción y velocidad de respuesta rápida. la configuración de sensores de alta precisión puede lograr una resolución nanométrica y una precisión de posicionamiento con alta fiabilidad. la Plataforma de desplazamiento piezoeléctrica desempeña un papel importante en el campo del posicionamiento de precisión.
La Mesa de desplazamiento de potencial de presión puede proporcionar retroalimentación del sensor SGS o no retroalimentación (anillo abierto).
Para aplicaciones que requieren dimensiones compactas, alta dinámica y resolución de posicionamiento a nivel nanométrico, pero sin precisión absoluta de posicionamiento y repetibilidad, el anillo abierto ofrece una opción económica y eficiente. También se puede utilizar una versión de diseño de anillo abierto para controlar la posición piezoeléctrica a través de una fuente de retroalimentación externa (interferómetro, sistema visual, fotodetector, etc.).

Parámetros del producto:

modelo NM-005 NM-005S NM-010 NM-010S Tolerancia
Eje de movimiento Z Z Z Z
Sensores integrados de SGS de SGS
Rango de viaje nominal (@ 0 ~ + 120v) 5 μm de 5 μm 10 μm 10 μm ± 5%
Rango máximo de recorrido (@ - 20 ~ + 150v) 7μm 7μm 12 μm 12 μm ± 20%
resolución 0,05 nm 0,1 nm 0,1 nm 0,2 nm tipo.
Paso mínimo de movimiento 3.0nm 3,0 nm 0,4 nm 0,4 nm tipo.
Error lineal cha 0,2% 0,2% tipo.
Precisión de posicionamiento repetida (recorrido completo) 0,1% 0,2% tipo.
Desviación del péndulo angular (inclinación / inclinación / rodadura) 5 μrad 5 μrad 5 μrad 5 μrad tipo.
Capacidad de carga 8N 8N 8N 8N Máx.
Frecuencia de resonancia (0g) 2500Hz 2500 Hz 2300Hz 2300 Hz ± 20%
Rigidez de la dirección del Movimiento 2N / μm 2 N/μm 2N / μm 2 N/μm ± 20%
Empuje / tracción en dirección de movimiento 12N / 2N 12N /2N 12N / 2N 12N /2N ± 20%
Mecanismo de accionamiento Cerámica piezoeléctrica Cerámica piezoeléctrica Cerámica piezoeléctrica Cerámica piezoeléctrica
Rango de temperatura de trabajo -20~+80℃ -20~+80 °℃ -20~+80℃ -20~+80 °℃ tipo.
Longitud del cable 1.5m 1.5 m 1.5m 1.5 m ± 10 mm
Tamaño hueco
Tamaño exterior (l × W × h) 30 × 30 × 24 mm 30 × 30 × 24 mm 30 × 30 × 29,2 mm 30 × 30 × 29,2 mm
peso 70 gramos 70 gramos 80 gramos 80 gramos ± 5%
Conector pzt & sensor LEMO LEMO LEMO LEMO
Material del cuerpo aluminio aluminio aluminio aluminio






























Nota: todos los parámetros de la especificación se miden a temperatura ambiente (22 ° C ± 3 ° c). para obtener más información, Póngase en contacto con nosotros. En la tabla "-" significa que no es aplicable.
1. el sufijo "- s" es de circuito cerrado, con sensores de posición incorporados. El sufijo del anillo abierto no lleva '- s, no hay errores lineales, datos de repetición.
2. el voltaje máximo de conducción es de - 20v ~ + 150v. para un uso a largo plazo altamente confiable, se recomienda que el voltaje de conducción sea de 0. + 120v. consulte para un viaje más grande. Salir de la fábrica es un viaje nominal.
3. la resolución es el ruido de posicionamiento. Debido a que el sistema de nanoposicionamiento de cerámica piezoeléctrica no tiene fricción, la resolución del sistema solo está limitada por el ruido del amplificador y la tecnología de medición. Por lo general, se utiliza el valor RMS (1sigma) para la medición y designación.
4. se refiere al valor mínimo de paso móvil de la plataforma piezoeléctrica medido a través del interferómetro, que está determinado principalmente por la resolución DAC del controlador piezoeléctrico. En el mejor de los casos, el valor del paso de desplazamiento correspondiente a 16 - bit en la tabla de parámetros.
5. cargas axiales, cargas superiores consulte, tenga en cuenta que el exceso de carga nominal puede causar daños al mecanismo flexible.
6. consulte la longitud del cable más larga.
7. el peso de la Mesa no incluye el peso de los cables y conectores.
8. Max en la tolerancia indica el valor máximo; Typ. indica el valor de los datos típicos estándar, y el informe de prueba dará el valor real de los datos de medición.


Tamaño del producto: