Espectrómetro de fluorescencia de rayos X de dispersión de longitud de onda

Espectrómetro de fluorescencia de rayos X de dispersión de longitud de onda WDA - 3650Se utiliza para la evaluación de películas, mientras que el espesor y la composición de las películas de varias películas se analizan sin daños y sin contacto.

Se trata de un espectrómetro de fluorescencia de rayos X de dispersión de longitud de onda (wd - xrf), que puede analizar simultáneamente el grosor y la composición de varias películas delgadas en obleas de hasta 200 mm de tamaño de forma no destructiva y sin contacto. La Mesa de muestras impulsada por XY Theta Z (método) puede analizar con precisión varias películas metálicas para evitar la influencia de rayos difractivos. El tubo de rayos X de alta potencia de 4kw puede realizar análisis de alta precisión de elementos ultraligeros, como la medición de oligoelementos y el análisis de Boron de películas bpsg. También se admite el robot de transporte C - A - C (opcional). Está equipado con una calibración automática (función de Inspección diaria totalmente automática y corrección de intensidad).

◆ apoyar el análisis de concentraciones y componentes de oligoelementos

Adecuado para varios elementos, desde elementos ligeros hasta elementos pesados: 4 sí a 92u

◆Detector de Boron de alta sensibilidad Ad - Boron

Desarrollamos constantemente nuevos sistemas ópticos, como mejorar la capacidad de análisis de Boron para mejorar la precisión y estabilidad del análisis. Además, el mecanismo de enfriamiento y el mecanismo de estabilización del vacío son equipos estándar estables.

◆Etapa de accionamiento X - y - Theta

El programa de configuración de la Mesa de muestra de accionamiento X - y - Theta y la dirección de medición puede medir con precisión el espesor de la película y la distribución de la composición en toda la obleas. Las películas ferroeléctricas tampoco se ven afectadas por el haz difractivo.

◆Aplicaciones:

・Dispositivos semiconductores bpsg, sio2 4 3n4

· polisilicio dopado (b, p, n, as), wsix

・ Al-Cu, TiW, TiN, TaN, PZT, BST y SBT

・MRAM

・金属膜 W, Mo, Ti, Co, Ni, Al, Cu, Ir, Pt, Ru

・磁盘 CoCrTa, CoCrPt y DLC

・NiP

· disco magnético TB - feco

· cabeza gmr, tmr

◆Amplia gama de productos de medidores de ángulo fijos

Proporcionamos El medidor de ángulo fijo más adecuado de acuerdo con el grosor y la estructura de la membrana. También estamos preparando un sistema óptico especial para analizar las películas wsix en las obleas de silicio.

◆Calibración automática de la función de gestión diaria totalmente automática

Para obtener valores de análisis precisos, el instrumento debe calibrarse correctamente. Para ello, es necesario medir e inspeccionar periódicamente las obleas y ajustar las obleas Pha como obleas de gestión para mantener el Estado de salud del equipo. Este trabajo de calibración convencional se automatiza y reduce la carga de trabajo del operador. Esta es la función autocal.

◆Compatible con el transporte automático C - to - C

Además de la Caja abierta, también admite smif pod. Compatible con obleas de menos de 200 mm. Además, se puede realizar la comunicación secs con el host y se admiten varios formatos CIM / fa.

◆Diseño compacto de ahorro de energía

El diseño compacto de la máquina principal cubre un área de menos de 1m2. El uso de transformadores sin aceite también hace que los equipos auxiliares sean más compactos y de diseño de ahorro de energía.

• Evaluación simultánea del espesor y la composición de la película

• Para todos los tipos de películas

• Soporte para obleas y discos medios de menos de 200 mm

• Alto rendimiento analítico, precisión y estabilidad

• El Banco de muestras impulsado por XY Theta Z obtenido puede obtener resultados precisos de radiofrecuencia.

• Análisis de Boron de alta sensibilidad (con Canal de Boron ad)

• Calibración automática con cargadores automáticos opcionales C A C

• Generador de rayos X sin transformador de aceite

• Consumo de energía un 23% menor que en modelos anteriores

Especificaciones del producto: