Máquina de Unión de obleas

EVG 510 Sistema de unión de obleas

EVG 510Sistema de Unión de obleas

Sistemas de Unión de obleas para investigación y desarrollo o producción en pequeños lotes-Compatible con equipos de producción en masa *.

EVG510Es un sistema de Unión de obleas altamente flexible que puede procesar desde el sustrato hasta200 mmTamaño del sustrato. La herramienta admite todos los procesos comunes de Unión de obleas, como el ánodo, el polvo de vidrio, la soldadura, la eutéctica, la fase líquida instantánea y el método directo. La Cámara de unión fácil de usar y el diseño de herramientas permiten una reimplantación rápida y conveniente de diferentes tamaños y procesos de obleas, con menos tiempo de conversión.5Min. Esta versatilidad es muy adecuada para universidades, instituciones de I + D o aplicaciones de producción en pequeños lotes.EVGHerramientas de fabricación en masa (por ejemploEVG GEMINILa Sala de unión en el mismo diseño, la fórmula de unión es fácil de transferir, lo que puede ampliar fácilmente la escala de producción.

Características

* uniformidad de presión y temperatura

compatibleEVGAlineadores mecánicos y ópticos

Diseño y configuración flexibles para investigación y piloto

Formar un solo chip en una obleas

Diversos procesos (eutécticos, soldadura,TLP, adhesión directa)

Turbobomba opcional..<1E-5 mbar(...)

Se puede actualizar para la Unión anódica

Diseño de Sala abierta, fácil de convertir y mantener

Compatibilidad de producción

Alto rendimiento, con especificaciones de calentamiento rápido y bombeo

Alto rendimiento a través de la compensación automática en forma de cuña

Diseño de Sala abierta, conversión y mantenimiento rápidos

200Del sistema de unión milimétricazuiPequeña superficie ocupada:0.8Metros cuadrados

Fórmula yEVGSistema de Unión de producción en masa * compatible

Datos técnicos:

zuiGran fuerza de contacto:10、20,60 kN Tamaño del calentador150Mm200Mm

zuiChip único de pequeño tamaño de sustrato100Mm

Vacío: estándar:0.1Milibar ; opcional:1E-5 mbar