VTC - 600gc - Am sistema continuo de recubrimiento por pulverización de magnetrón de varias cámaras

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Descripción general

El sistema continuo de recubrimiento por pulverización magnética de múltiples cámaras VTC - 600gc - Am es un equipo de recubrimiento desarrollado recientemente de forma independiente, que consta principalmente de dos partes: la Cámara de transmisión y la Cámara de recubrimiento por pulverización. el soporte del sustrato puede lograr un movimiento alternativo en la Cámara de transmisión y la Cámara de pulverización. está controlado por un motor de modulación de frecuencia y funciona simultáneamente automáticamente. la posición y la velocidad de movimiento recíprocos se pueden configurar. ambas cámaras tienen funciones de posicionamiento, lo que permite restaurar el origen. Se puede utilizar para la preparación de películas ferroeléctricas de una o más capas, películas conductoras, películas de aleación, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas aislantes, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de politetrafluoroeftalato, etc.

Detalles del producto

Descripción del producto VTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

VTC - 600gc - Am sistema continuo de recubrimiento por pulverización de magnetrón de varias cámarasEs un equipo de recubrimiento recién desarrollado de forma independiente, que consta principalmente de dos partes: la Cámara de transmisión y la Cámara de recubrimiento por pulverización. el soporte del sustrato puede realizar movimiento alternativo en la Cámara de transmisión y la Cámara de pulverización. está controlado por un motor FM y funciona simultáneamente automáticamente. la posición y la velocidad de movimiento recíprocos se pueden establecer. ambas cámaras tienen funciones de posicionamiento para lograr la restauración del origen. Se puede utilizar para la preparación de películas ferroeléctricas de una o más capas, películas conductoras, películas de aleación, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas aislantes, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de politetrafluoroeftalato, etc.VTC - 600gc - Am sistema continuo de recubrimiento por pulverización de magnetrón de varias cámarasSe pueden combinar varias pistolas objetivo, con una fuente de alimentación de radiofrecuencia para el recubrimiento por pulverización de objetivos no conductores y una fuente de alimentación de corriente continua para el recubrimiento por pulverización de materiales conductores. En comparación con equipos similares, no solo es ampliamente utilizado, sino que también tiene la ventaja de orinar en volumen y operar. es un equipo ideal para la preparación de películas de materiales en laboratorio, especialmente adecuado para la investigación de electrolitos de estado sólido y OLED en laboratorio.

Características principales VTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

Consta de dos partes principales: la Cámara de transmisión y la Cámara de recubrimiento por pulverización, que pueden lograr un recubrimiento por pulverización de muestra rápido y continuo.
Se pueden combinar varias pistolas objetivo, con una fuente de alimentación de radiofrecuencia para el recubrimiento por pulverización de objetivos no conductores y una fuente de alimentación de corriente continua para el recubrimiento por pulverización de materiales conductores (las pistolas objetivo se pueden cambiar arbitrariamente de acuerdo con las necesidades del cliente).
Se pueden preparar una variedad de películas finas y se utilizan ampliamente.
Pequeño tamaño y fácil operación.
El diseño modular de toda la máquina, la Cámara de transmisión, la Cámara de vacío, el Grupo de bomba de vacío y el diseño dividido de la fuente de alimentación de control se pueden ajustar de acuerdo con las necesidades reales del usuario.
Se puede seleccionar la fuente de alimentación de acuerdo con las necesidades reales del usuario, una fuente de alimentación puede controlar varias pistolas de objetivo, o una sola fuente de alimentación puede controlar varias pistolas de objetivo.

Parámetros técnicos VTC-600GC-AM连续式多腔室磁控溅射镀膜系统

nombre del producto	VTC - 600gc - Am sistema continuo de recubrimiento por pulverización de magnetrón de varias cámaras
Modelo del producto	VTC-600GC-AM
Parámetros principales	1. estructura: estructura de puerta delantera de escritorio, sistema de bombeo trasero.
	2. vacío límite: 6.0x10^-5Papá.
	3. tasa de fuga: 1h ≤ 0,5pa.
	4. tiempo de extracción de la atmósfera a 5.0x10^-3Unos 5 minutos.
	5. Grupo de bombas de vacío: bombas mecánicas + bombas moleculares.
	6. Mesa de muestras: Phi 140, temperatura ambiente - 500 ℃, precisión ± 1 ℃ (se puede aumentar la temperatura de acuerdo con las necesidades reales) la rotación es ajustable dentro de 5rpm - 20rpm. Se puede instalar una función de sesgo de acuerdo con las necesidades del cliente para lograr un recubrimiento de mayor calidad.
	7. sistema de llenado de gas: medidor de flujo de masa de 2 canales. (argón / nitrógeno todo el camino)
	8. el ángulo entre la cabeza del objetivo y el eje de la Mesa de muestra es de 34 °.
	9. número de cabezas objetivo: 3 (120 ° entre sí). (se puede personalizar más cantidad)
	10. modo de enfriamiento de la pistola objetivo: refrigeración por agua
	11. tamaño del objetivo: Phi 2 ", espesor de 0,1 - 5 mm (varía según el material del objetivo)

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