Sistema continuo de recubrimiento por evaporación de cámara múltiple GSL - 1800x - ZF - Am

Descripción del producto

Sistema continuo de recubrimiento por evaporación de cámara múltiple GSL - 1800x - ZF - AmSe trata de un medidor de recubrimiento por evaporación de alto vacío con inyección continua de muestras, que consta principalmente de dos partes: la Cámara de transmisión y la Cámara de recubrimiento por evaporación. el soporte del sustrato puede realizar un movimiento alternativo en la Cámara de transmisión y la Cámara de pulverización. está controlado por un motor FM y funciona simultáneamente automáticamente. la posición y la velocidad de movimiento recíprocos se pueden configurar. ambas cámaras tienen funciones de posicionamiento para lograr el reinicio del origen. Es especialmente adecuado para evaporar películas metálicas más sensibles al oxígeno (como ti, al, au, etc.) y compuestos orgánicos de moléculas pequeñas. La máquina está equipada con cuatro botes de calentamiento de vapor, cada uno de los cuales se puede evaporar de forma independiente, y hay un deflector giratorio por encima del barco de calentamiento, que cubre los otros tres botes de tungsteno cuando uno de los botes de calentamiento realiza el vapor para evitar la contaminación mutua entre los materiales de evaporación. Si se cambia parte de la configuración, también se puede lograr el recubrimiento por evaporación de materiales orgánicos, que puede cumplir con los requisitos de investigación en dispositivos emisores de luz y células solares orgánicas, y es un equipo experimental ideal de recubrimiento y rentable. El Fondo de la cavidad del recubrimiento por evaporación GSL - 1800x - zf4 está equipado con cinco electrodos refrigerados por agua, que pueden proteger eficazmente la temperatura del electrodo de derretirse debido a la temperatura excesiva durante el trabajo, lo que a su vez daña el electrodo. La máquina utiliza una cámara metálica con un alto vacío, que puede alcanzar 5,0 × 10^-7torr， La Mesa de muestras puede calentar las muestras a una temperatura ambiente de - 500 ℃, que es el equipo para el recubrimiento por evaporación al Alto vacío.

Características principales

• Consta de dos partes principales: la Cámara de transmisión y la Cámara de recubrimiento por evaporación, que pueden lograr un recubrimiento por evaporación rápido y continuo de la muestra.

• Todas las unidades de control de vacío se reúnen en una caja de control.

• Se adopta un controlador de corriente de evaporación independiente, que es fácil de operar y rápido.

• La cavidad de vacío está equipada con una válvula de bombeo lateral kf40 (conectada directamente a la bomba mecánica de la etapa delantera para mejorar la eficiencia), una válvula de compuerta cf150 (conectada directamente a la bomba molecular), una brida kf16 (medidor de resistencia de instalación), seis pestañas cf35 (1 medidor de ionización de instalación, 1 electrodo de 2 núcleos de instalación y 1 medidor de espesor de película de instalación) tres de repuesto.

• Hay cinco electrodos refrigerados por agua en la parte inferior de la cavidad, que pueden soportar cuatro barcos de calentamiento al vapor.

• La Mesa de muestra se instala en la parte superior de la cavidad.

• Se puede instalar un medidor de espesor de película de alta resolución en la cavidad, y la resolución de medición del espesor de película (aluminio) es de 0,1 Ö.

• Se puede utilizar un enfriador de agua circulante.

Parámetros técnicos