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Categorías de producto
Shanghai maoshuo Machinery and Equipment co., Ltd.
Válvula de vacío IVA Suiza 59024 - ge01 - 0003
NegociableActualización en05/18
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Descripción general
Válvula de vacío IVA Suiza 59024 - ge01 - 0003 $r $n análisis de modelo (reglas de nomenclatura iva) $r $n significado de segmento de código $r $n59024 serie: válvula de ángulo de alto vacío $r $ngen01 tipo de brida: ISO - kf40 $r $n0003 Código de configuración: con ejecutor neumático
Detalles del producto
Válvula de vacío IVA Suiza 59024 - ge01 - 0003
1. análisis de modelos (reglas de nomenclatura del iva)
| Segmento de código | significado |
|---|---|
| 59024 | Serie: válvula de ángulo de alto vacío |
| GE01 | Tipo de brida: ISO - kf40 |
| 0003 | Código de configuración: con ejecutor neumático |
2. parámetros básicos
| parámetro | especificación |
|---|---|
| Rango de vacío | 10⁻⁶ ~ 1000 mbar |
| Tasa de fuga | ≤ 1 × 10 ⁹ mbar · L / S (prueba de helio) |
| Estándar de brida | La norma ISO-KF40 (DN40) |
| Material del cuerpo de la válvula | Acero inoxidable 316L (pulido ep) |
| Material de sellado | Caucho flúor (fkm) / sello metálico completo opcional |
| Modo de conducción | Neumáticos (presión de trabajo de 4 a 6 bar) |
| Tiempo de respuesta | ≤ 0,5 segundos (encendido / apagado) |
| Rango de temperatura | - 20 ° C a 150 ° c (estándar) |
3. características estructurales
Diseño de vacío súper alto:
Sello de fuelle metálico (cero fugas)
La placa de la válvula está sellada con una superficie cónica (sello de clase 10⁻ mbar)
Ejecutor neumático:
Cilindro de doble acción (requiere control de válvula electromagnética)
Con indicador de posición mecánica
4. aplicaciones típicas
Equipos semiconductores:
Aislamiento de la cavidad de transmisión de obleas
Cavidad de proceso CVD / PVD
Dispositivo de investigación científica:
Línea de haz de Radiación Sincrotrón
Sistema de vacío de acelerador de partículas
5. requisitos de instalación
Instalación de brida:
Límite de par: 10 nm (abrazadera ISO - kf40)
Se requiere un anillo de sellado de cobre sin oxígeno (p / n: VAT - cu40)
Conexión de vía de aire:
Puerto de gas de accionamiento: G1 / 8 '(se recomienda soplar con argón)
6. interfaz eléctrica (se requiere válvula solenoide)
| señal | requisito |
|---|---|
| Señal de apertura de válvula | 24v DC (válvula solenoide de accionamiento) |
| Señal de cierre de válvula | Reinicio del resorte (apagado de la válvula de cierre automático) |
7. puntos clave de mantenimiento
| proyecto | Ciclo | operación |
|---|---|---|
| Reemplazo del anillo de sellado | 2 años o 10 ciclos | Se necesita una pinza especial para desmontar |
| Inspección de fuelle | 1 año | Detección del espectrómetro de masas de helio |
| Lubricación del cilindro de accionamiento | 6 meses | Uso de grasa de vacío PFE |
8. comparación de modelos alternativos
| Marca / Modelo | Punto de diferencia |
|---|---|
| VAT 59024-GE01-0004 | Versión del ejecutor eléctrico |
| Pfeiffer IVA 58500 | Válvula directa, mayor flujo |
| NorCal UHV-40 | El precio es un 20% más bajo y la tasa de fuga es ligeramente más alta |
El plazo de entrega estándar para este modelo es de 8 - 12 semanas. Si es necesarioVersión de temperatura ultra alta (300 ° c)OVersión sin imánSe necesita un ciclo de personalización adicional de 6 semanas. Se recomienda usar el IVA a juegoSerie 52xEl Grupo de válvulas solenoides realiza el control automático.
Válvula de vacío IVA Suiza 59024 - ge01 - 0003
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