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Edificio 6, 93 guoshun road, Nanqiao town, Fengxian district, Shanghai
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¿¿ qué?Ayuda
¿¿ qué?Shanghai maoshuo Machinery and Equipment co., Ltd.
Edificio 6, 93 guoshun road, Nanqiao town, Fengxian district, Shanghai
Componentes de vacío del IVA suizo 334.347
Número de pieza de la fábrica original: 334.347
Serie A la que pertenece: conjunto de sellado de válvula de vacío VAT
Modelo aplicable:
Válvula de ángulo de alto vacío de la serie VAT 59000
Válvula de compuerta de la serie VAT 47000
| parámetro | especificación |
|---|---|
| material | Caucho perfluoruro (ffkm) |
| Dureza | 75±5 Ribera A |
| Nivel de sellado al vacío | ≤1×10 ⁻⁹ mbar·L/s |
| Rango de resistencia a la temperatura | - 20 ° C ~ + 320 ° c (350 ° C a corto plazo) |
| Resistencia química | Resistencia a la corrosión por plasma / ozono / ácido y álcali |
| Especificaciones de tamaño | Adaptación a la brida de la válvula dn63 (2,5 ') |
Diseño compuesto:
Labio de sellado principal: borde de sellado ffkm de doble canal
Esqueleto de soporte: anillo interior 316L de acero inoxidable
Diseño resistente a la extrusión:
Estructura de optimización de sección transversal (aumento del 30% en la capacidad de presión)
| Serie de válvulas VAT | modelo específico |
|---|---|
| 59000 | 59.063, 59.080 |
| 47000 | 47.150, 47.200 |
| 39000 | Es necesario confirmar que el tamaño de la brida coincide |
Tratamiento de superficie:
Rugosidad de la superficie de sellado de la brida ra ≤ 0,8 micras
Es necesario limpiar con tela sin terciopelo + alcohol propano
Par de instalación:
| Tipo de brida | Par recomendado |
|---|---|
| ISO-KF63 | 15~18 Nm |
| CF63 | 30~35 Nm |
Detección de fugas por espectrometría de masas de helio:
Presión de prueba: 1 × 10 ⁶ mbar
Tasa de fuga permitida: ≤ 1 × 10 ⁹ mbar · L / s
Prueba de envejecimiento:
Deformación por compresión ≤ 20% después de 72 horas de cocción a 250 ° C
| Marca / Modelo | Punto de diferencia |
|---|---|
| IVA 334347-M | Versión recubierta de metal (resistente a 450 ° c) |
| Pfeiffer 033434 | Kalrez ® Material, precio + 40% |
| Ffkm - dn63 nacional | El costo es un 60% más bajo y la vida útil es de aproximadamente el 50% de la fábrica original. |
| Condiciones de trabajo | Ciclo de cambio esperado |
|---|---|
| Alto vacío a temperatura ambiente ( < 10⁻ mbar) | De 3 a 5 años |
| Entorno plasmático | De 6 a 12 meses |
| Alta temperatura (280 ° c) | 1 a 2 años |
El sello debe coincidirGrasa de vacío especial para IVA (p / n: 334500)Uso. paraEquipos semiconductoresSe recomienda reemplazar preventivamente cada 12 meses y conservar las piezas antiguas para el análisis de falla. Los pedidos por lotes (≥ 50 piezas) pueden solicitar un descuento anual del acuerdo del 15%.
Componentes de vacío del IVA suizo 334.347