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Dirección
Edificio 6, 93 guoshun road, Nanqiao town, Fengxian district, Shanghai
Categorías de producto
Shanghai maoshuo Machinery and Equipment co., Ltd.
Válvula de vacío IVA Suiza 01034 - ke01 - 0002
NegociableActualización en05/18
- modelo
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- Categoría de producto
- Lugar de origen
Descripción general
Válvula de vacío IVA Suiza 01034 - ke01 - 0002 $r $n análisis de modelo (reglas de nomenclatura iva) dólaresr $n significado de segmento de código $r $n01034 serie: válvula de ángulo de alto vacío de pequeño calibre $r $nke01 tipo de brida: ISO - kf16 (dn16) dólaresr $n0002 Código de configuración: con ejecutor neumático + sensor de posición
Detalles del producto
Válvula de vacío IVA Suiza 01034 - ke01 - 0002
1. análisis de modelos (reglas de nomenclatura del iva)
| Segmento de código | significado |
|---|---|
| 01034 | Serie: válvula de ángulo de alto vacío de pequeño calibre |
| KE01 | Tipo de brida: ISO - kf16 (dn16) |
| 0002 | Código de configuración: con ejecutor neumático + sensor de posición |
2. parámetros básicos
| parámetro | especificación |
|---|---|
| Rango de vacío | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| Tasa de fuga | ≤ 1 × 10 ⁹ mbar · L / S (sello metálico) |
| Material del cuerpo de la válvula | Acero inoxidable 316L (pulido ep) |
| Opciones de sellado | Sello totalmente metálico / elástico ffkm |
| Modo de conducción | Doble acción neumática (4 a 6 bar) |
| Tiempo de respuesta | ≤ 0,3 segundos (encendido / apagado) |
| Rango de temperatura | - 200 ° C a 250 ° c (estándar) |
3. características estructurales
Diseño de fuga cero:
Transmisión de fuelle metálico (sin riesgo de fuga de sellado dinámico)
Sello del asiento cónico (sello de clase 10)
Retroalimentación inteligente:
Sensor de posición de Acoplamiento magnético integrado (salida pnp)
Indicador de Estado LED (rojo / verde)
4. aplicaciones típicas
Instrumentos de análisis:
Aislamiento del sistema de inyección del espectrómetro de masas
Sala de muestras del microscopio electrónico
semiconductor:
Módulo de transmisión de obleas (efem)
Control del canal de gas del equipo de grabado
5. especificaciones de instalación
Conexión de brida:
Límite de par: 5 nm (abrazadera ISO - kf16)
Anillo de sellado: arandela de cobre sin oxígeno (p / n: VAT - cu16)
Requisitos de la carretera de gas:
Gas de accionamiento: nitrógeno o argón (pureza ≥ 99999%)
Filtro de línea: filtro de 0,1 micras
6. interfaz eléctrica
| terminal | Función |
|---|---|
| 1 (marrón) | 24V DC+ |
| 2 (azul) | 0V |
| 3 (negro) | Señal de apertura de válvula (pnp) |
| 4 (blanco) | Señal de cierre de válvula (pnp) |
7. ciclo de mantenimiento
| proyecto | operación | Ciclo |
|---|---|---|
| Inspección de la superficie de sellado | Detección de Interferómetro de luz blanca | 1 año / 10 ciclos |
| Vida útil de los fuelle | Prueba de detección de fugas de helio | 5 años o 10 ciclos |
| Calibración del sensor de posición | Ajuste de retroalimentación de la posición de la válvula | 2 años |
8. diagnóstico de fallas
| código | significado | Plan de tratamiento |
|---|---|---|
| E01 | Se pierde la señal del sensor | Comprobar la alineación del Acoplamiento magnético |
| E03 | Presión insuficiente | Confirmar la presión de conducción ≥ 4 Bar |
| E05 | Alarma de sobretemperatura | Comprobar si la temperatura ambiente supera el estándar |
9. alternativas
| Marca / Modelo | Punto de diferencia |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | Sin sensores de posición |
| Pfeiffer EVR 116 | Ejecutor eléctrico, respuesta lenta |
| NorCal UHV-16 | El precio es un 25% más bajo y la tasa de fuga es ligeramente superior |
El plazo de entrega estándar de este modelo es de 12 semanas. Si es necesarioVersión de vacío de Ultra Alto Nivel (10 mbar)OVersión sin imánSe necesita un ciclo de personalización adicional de 6 semanas. Se recomienda usar el IVA a juegoSerie 52xEl Grupo de válvulas solenoides realiza el control automático.
Válvula de vacío IVA Suiza 01034 - ke01 - 0002
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