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Dirección
Edificio 6, 93 guoshun road, Nanqiao town, Fengxian district, Shanghai
Categorías de producto
Shanghai maoshuo Machinery and Equipment co., Ltd.
Placa de válvula de vacío del IVA suizo 96603 - 01
NegociableActualización en05/18
- modelo
- Naturaleza del fabricante
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- Categoría de producto
- Lugar de origen
Descripción general
Placa de compuerta de vacío IVA Suiza 96603 - 01 $r $n información básica $r $n número de pieza original: 96603 - 01 $r $n $r $n modelo de válvula aplicable: válvula de compuerta de alto vacío de la serie VAT 96600 $r $n $r $n material: acero inoxidable 316L (clase EP de pulido electrolítico) $r $n $r $n tratamiento de superficie: ra ≤ 0,1 μm (pulido espejo)
Detalles del producto
Placa de válvula de vacío del IVA suizo 96603 - 01
1. información básica
Número de pieza de la fábrica original: 96603 - 01
Modelo de válvula aplicable: válvula de compuerta de alto vacío de la serie VAT 96600
material: acero inoxidable 316L (clase EP de pulido electrolítico)
Tratamiento de superficie: RA ≤ 0,1 μm (pulido espejo)
2. parámetros básicos
| parámetro | especificación |
|---|---|
| tamaño | Adaptación de válvulas dn160 (6,3 ') |
| Tolerancia al grosor | ±0.005mm |
| Planitud | ≤0.01mm/m |
| Nivel de sellado al vacío | ≤ 1 × 10 ⁹ mbar · L / S (con anillo de sellado metálico) |
| Rango de resistencia a la temperatura | - 270 ° C ~ + 450 ° c (configuración de sellado de todo el metal) |
3. características estructurales
Diseño de sellado de doble cara:
Tapa principal: sello metálico cónico (cobre o acero inoxidable)
Sello secundario: sello elástico opcional (como viton) ®）
Sistema de guía:
Guía lineal de precisión (coeficiente de fricción inferior a 0001)
Interfaz de accionamiento:
Adaptación estándar al ejecutor neumático del IVA (por ejemplo, serie 96100)
4. modelos de válvulas compatibles
| Serie de válvulas VAT | Ejemplo de modelo específico |
|---|---|
| 96600 | 96603, 96606, 96610 |
| 96800 | 96803 (se requiere confirmar el tamaño) |
5. instalación y mantenimiento
Pasos de instalación:
Limpiar la cavidad de la válvula (usar tela sin polvo + alcohol de alta pureza)
Anillo de sellado preinstalado (se requiere una pinza de instalación especial)
Prueba manual de resistencia al deslizamiento después de la inserción de la placa de la válvula (debe ser ≤ 5n)
Requisitos de par:
Par de perno de brida: 20 a 25 nm (iso - kf160)
6. indicadores de vida útil
| condición de trabajo | Esperanza de vida |
|---|---|
| Alto vacío a temperatura ambiente ( < 10⁻ mbar) | > 10 ciclos |
| Alta temperatura (300 ° c) | Aproximadamente 5 × 10 ciclos |
| Entorno plasmático | Es necesario comprobar el desgaste cada 5 × 10 |
7. métodos de detección del desgaste
Detección óptica:
Medir los arañazos en la superficie de sellado con un Interferómetro de luz blanca (profundidad ≤ 0,5 micras es segura)
Prueba de rendimiento:
Detección de fugas por espectrometría de masas de helio (en estado cerrado de la placa de válvula ≤ 1 × 10 mbar · L / s)
8. comparación de alternativas
| Marca / Modelo | Punto de diferencia |
|---|---|
| VAT 96603-01-M | Superficie de sellado Chapada en oro (resistencia a la corrosión + conducción eléctrica) |
| Pfeiffer PGV 160 | Compatible pero necesita modificar la interfaz del ejecutor |
| Imitación nacional | El coste es un 60% más bajo y la vida útil es de alrededor del 40% de la fábrica original |
La placa de la válvula debe cooperar.Anillo de sellado de la serie VAT 229310Uso. paraEquipos semiconductoresSe recomienda reemplazar obligatoriamente cada 2 años o 10 ciclos. La fecha de entrega de las versiones personalizadas (como el recubrimiento de nitruro de silicio recubierto de aluminio) requiere 8 semanas adicionales.
Placa de válvula de vacío del IVA suizo 96603 - 01
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