Válvula deflectora neumática de alto vacío de la serie 54 del IVA suizo

Válvula deflectora neumática de alto vacío de la serie 54 del IVA suizo

Posicionamiento de productos de la serie I.54

• Tipo de producto: válvula de deflector de alto vacío impulsada por aire (pneumatic Gate valve)

• Funciones básicas:

• Cámara de vacío de aislamiento rápido (tiempo de encendido / apagado < 1 segundo)

• Adecuado para semiconductores, fotovoltaica y equipos de investigación científica.Sistema de vacío súper alto (uhv)

• ventaja principal:

• La tasa de fuga es tan baja como<1×10 ⁻⁹ mbar·L/s(la versión sellada de metal puede alcanzar los 10 1 mbar · L / s)

• Diseño de fuga cero, compatibleGas corrosivo(por ejemplo, clic, SF en el proceso cvd)

II. reglas de nomenclatura de modelos (tomando como ejemplo el IVA 54152 - aa)

3. comparación de submodelos comunes en el mercado chino

IV. parámetros técnicos básicos

1. 真空性能:

• Tasa de fuga: versión de fluorocaucho < 1 × 10 ⁹ mbar · L / s, versión sellada de metal < 1 × 10 mbar · L / s

• Diferencia de presión: versión estándar 10⁻ mbar a presión atmosférica (opcional de presión bidireccional)

2. Características mecánicas:

• Modo de conducción: neumático de doble acción (se necesita aire comprimido de 0,5 a 0,7 mpa)

• Tiempo de apertura y cierre: menos de dn63 ≤ 0,5 segundos, dn200 ≤ 1,5 segundos

• Vida útil del ciclo: > 500000 veces (versión sellada con metal)

3. Compatibilidad de materiales:

• Caucho flúor (aa): bajo costo, no resistente al plasma

• Sello metálico (mm): resistente a la corrosión y alta temperatura, el precio es alto entre un 30% y un 50%

• Material del cuerpo de la válvula: acero inoxidable 316L (opcional pulido electrolítico clase ep)

• Opciones de sellado:

V. pasos clave en la selección del modelo

1. Determinar el diámetro: Seleccione dn40 / dn63 / dn160 / dn200 de acuerdo con el flujo de la tubería

2. Selección de sellos:

• Proceso convencional: caucho flúor (aa)

• Grabado / implantación de iones: sello metálico (mm)

3. Brida de emparejamiento:

• Brida ISO - k: gran caudal (por ejemplo, equipos recubiertos)

• Brida cf: vacío Ultra Alto (como cavidad semiconductora)

4. Necesidades especiales:

• Gas corrosivo: selecciónCuerpo de válvula chapado en níquelOSello de aleación de Harbin

• Ambiente de alta temperatura: sello metálico + válvula solenoide de alta temperatura (como la serie Festo ms6)

VI. puntos clave de instalación y mantenimiento

• Especificaciones de instalación:

• El Cuerpo de la válvula debe instalarse horizontal o verticalmente (evitar la inclinación)

• Los pernos de la brida deben apretarse en orden diagonal (consulte el Manual del IVA para el par)

• Recomendaciones de mantenimiento:

• Comprobar el desgaste de la superficie de sellado cada 6 meses (la versión de sellado metálico se puede moler regularmente)

• El anillo de sellado de fluorocaucho debe permanecer quieto durante 12 horas antes de bombear vacío después de exponer la atmósfera.

7. manejo de fallas típicas

Viii. alternativas al mercado chino

1. Sustitución nacional:

• Shenyang keyiVálvulas deflectoras de la serie gdc(dn40 a dn250, tasa de fuga inferior a 5 × 10 mbar · L / s)

2. Marca japonesa:

• SMCSerie vzh(vacío medio y bajo, rentable)

• Ciclo de entrega:

• Modelo estándar: 4 - 6 semanas

• Versión personalizada (como el cuerpo de la válvula nikkei): 8 - 12 semanas

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