Medidor de estrés

Medidor de estrésEs un equipo de detección de precisión basado en la tecnología de escaneo láser, que se utiliza principalmente para analizar la distribución del estrés, la imagen de curvatura y el estrés residual de los materiales de película delgada. Este equipo tiene un valor de aplicación clave en los campos de la fabricación de semiconductores, la investigación y el desarrollo de materiales y el control de calidad.

FLATSCANMedidor de estrésUn perfilador de superficie óptica sin contacto con un amplio rango de medición adecuado para mediciones bidimensionales o tridimensionales de alta precisión del estrés de la obleas (estrés de película delgada), la curvatura de la superficie (radio) y la pendiente.

Principios de medición óptica para la medición del contorno de la superficie

El medidor de tensión de película delgada flatscan se utiliza para medir sin contacto la planitud, curvatura superficial, Radio promedio y tensión de película delgada (tensión de obleas) de diversas superficies reflectantes, como pastillas de silicio, espejos, espejos de rayos X (goebel - mirrors), superficies metálicas o polímeros pulidos. El principio de medición óptica garantiza una alta precisión. Se basa en la medición del ángulo de reflexión del haz láser de incidencia vertical a lo largo de una línea con un paso constante. El contorno de la superficie se puede calcular con precisión a partir de la variación del ángulo de reflexión entre los puntos de medición. Para algunas aplicaciones, el ángulo de reflexión en sí (pendiente de la superficie) también es importante. Por lo tanto, el software también ofrece esta opción de medición.

En la aplicación de la tecnología de semiconductores, el estrés de la película delgada recubierta (el estrés de la pasta) se puede calcular midiendo el radio de curvatura de la pasta antes y después del recubrimiento.

Gran área de medición

Una característica del principio de medición utilizado es que no tiene nada que ver con el área de medición. Por lo tanto, el diámetro del campo de medición estándar de 200 mm puede aumentar casi arbitrariamente sin reducir la precisión.

Alta precisión de medición

El medidor de estrés de película delgada flatscan tiene las características de alta precisión de medición. La resolución del sistema de medición puede alcanzar 0,1 arcsec. La reproducibilidad de la forma de la superficie es superior a 100 nm.

Gran alcance de medición y distancia de trabajo

El rango de medición se refiere a la altura máxima del vector (o el radio mínimo de curvatura medible) que se puede medir en un solo escaneo. Una característica importante de flatscan es que el rango de medición es extremadamente amplio, lo que no se puede lograr con otros métodos de medición competitivos, como el interferómetro de rayas o el interferómetro de cambio de fase.

Por lo tanto, el probador de estrés de película delgada flatscan es adecuado para medir superficies con una fuerte curvatura, como espejos goebel, pastillas de silicio u otras superficies similares. El principio de medición óptica utilizado no se ve afectado por la distancia de trabajo y garantiza una distancia de trabajo más alta, por lo que no corre el riesgo de causar daños a la muestra.

Medición opcional 2d / 3D

Dependiendo del tipo de dispositivo, se puede optar por realizar un escaneo de una sola línea o un escaneo 3D completo. El escaneo 3D se compone de muchas combinaciones automáticas de escaneo de una sola línea, con función de posicionamiento automático de muestras. El software proporciona todas las excelentes funciones comunes de representación gráfica y numérica de los resultados de las mediciones, como caracterización 3d, perfiles e informes de medición.

Módulo de software para calcular el estrés de la película

El software está equipado con un módulo para calcular el estrés de la película basado en la teoría de fowkes, adecuado para la tecnología de semiconductores y todas las aplicaciones que implican modificaciones de superficie, como recubrimientos o eliminación de recubrimientos, y puede medir el estrés de la película de manera rápida y fácil. El estrés de la película se calcula a partir del radio medio de curvatura antes y después del proceso de recubrimiento.

Principales parámetros técnicos:

1. medición sin contacto del haz láser

2. tiene la función de medir automáticamente el contorno, la curvatura y el estrés de la película de la obleas.

3. repetibilidad de la curvatura de la superficie (p - v) ≤ 100 nm

4. resolución del sistema de medición óptica: 0.1arcsec

5. precisión del sistema de medición óptica: 1arcsec

6. velocidad de escaneo: 10 a 30 mm / s

7. rango de medición: estándar Phi 200 mm, 300mm, más personalizado