Máquina de dibujo de semiconductores de precisión

La máquina de corte de obleas es un equipo de alta precisión que utiliza cuchillas o láseres para cortar obleas de alta precisión. se utiliza principalmente en los procesos posteriores de los chips semiconductores, incluyendo el micro - procesamiento de obleas, como el corte, la División o la ranura. Como equipo clave en el corte del círculo de cristal y el corte de wlap en el sellado y medición de la pista trasera de semiconductores, la calidad y eficiencia del Corte afectan directamente la calidad del embalaje y el costo de producción del chip.

Máquina de dibujo de semiconductores de precisiónLa configuración del software y la configuración del hardware del sistema Mr 200 pueden lograr líneas de alta precisión, logrando así un corte preciso de pastillas de silicio estructuradas. Mr 200 es una herramienta muy poderosa, especialmente en la preparación de muestras Sem de tecnología de semiconductores. Además, el Mr 200 también es adecuado para la separación de corte de chips de pequeños lotes, por ejemplo en aplicaciones de laboratorio.

Máquina de dibujo de semiconductores de precisiónLa base mecánica ofrece muchas opciones para ajustar los parámetros de la línea. El sistema óptico zoom de alta calidad puede lograr un ajuste continuo y gradual de 8 a 40 veces la amplificación. Los componentes ópticos y mecánicos se pueden expandir a través de módulos auxiliares, mejorando así la eficiencia operativa y la comodidad de la interacción hombre - computadora. Tales módulos incluyen un sistema de cámara, un sistema de procesamiento de imágenes y un sistema de medición de desplazamiento de mesa de trabajo.

Sistema de cámara:

Este microscopio zoom de alta calidad puede lograr un cambio gradual entre el mapa general y el mapa de detalles de la superficie de la muestra. A través del ajuste fino de la Plataforma de carga X / y, los especímenes se pueden localizar con alta precisión. El punto de partida y el ángulo de trabajo del Diamante de línea se pueden ajustar, y la Cruz ocular se utiliza para marcar el punto de partida. El sistema de video es opcional. después de configurar esta función, la situación de la superficie de la obleas se puede observar en tiempo real en la pantalla de la PC.

Sistema de procesamiento de imágenes:

El sistema óptico zoom de alta calidad puede lograr un ajuste continuo y gradual de 8 a 40 veces la amplificación.

Sistema de medición del desplazamiento de la Mesa de trabajo:

Dispositivo de medición de desplazamiento digital, adecuado para la detección de posicionamiento de la Mesa de trabajo, con una especificación de rango de 100 mm / 200 mm. El medidor puede realizar el posicionamiento de alta precisión de la mesa redonda de cristal en la dirección vertical a la dirección de la tira, y uno de sus principales objetivos es trazar con precisión la cuadrícula.

Dispositivo de medición de desplazamiento digital, adecuado para la detección de posicionamiento de la Mesa de trabajo, con una especificación de rango de 100 mm

Dispositivo de medición de desplazamiento digital, adecuado para la detección de posicionamiento de la Mesa de trabajo, con una especificación de rango de 200 mm

Parámetros técnicos:

Sistema óptico:

El sistema óptico zoom de alta calidad permite un ajuste gradual de la ampliación de 8 a 40 veces, y el microscopio tiene muchos accesorios para elegir para lograr más funciones.

Accesorios opcionales:

1. medidor de desplazamiento digital: 100 mm / 200 mm

El medidor puede realizar el posicionamiento de alta precisión de la mesa redonda de cristal en la dirección vertical a la dirección de la tira, y uno de sus principales objetivos es trazar con precisión la cuadrícula.

2. kit de actualización de adaptación de cámara

El kit de actualización de la Cámara CC incluye los componentes de microscopio correspondientes. Además, se necesitan cámaras, monitores o computadoras con software de procesamiento de imágenes. Los clientes pueden elegir opciones personalizadas o usar cámaras, computadoras y software proporcionados por oem.

3. sistema de video en color

La selección incluye una cámara de color de 1,3 millones de píxeles, una computadora de máquina integrada y un software de procesamiento de imágenes, que puede mostrar las imágenes de la Cámara en la pantalla y soportar la conservación de las imágenes.

4. medición del ancho de línea

Este software de procesamiento de imágenes extendido puede realizar mediciones de ancho de línea de alta precisión de resolución de subpixel.

Corte preciso, fácil de operar:

Después de fijar el sustrato a la pinza, apunte el microscopio a la obleas. Al mover manualmente la Mesa de trabajo a lo largo de los ejes X e y, se puede ajustar la línea a la marca o estructura de referencia en la muestra. Un microscopio zoom de alta calidad puede cambiar rápidamente entre el mapa de probabilidad y el mapa de detalles de la muestra. A través del ajuste fino de la Mesa de trabajo X / y, la obleas se pueden localizar con gran precisión. El punto de contacto del Diamante de línea se puede ajustar a través de las gafas o las líneas cruzadas en la pantalla, y el levantamiento se controla con un interruptor de pedal, y las manos pueden operar el Movimiento de línea al mismo tiempo. Después de determinar la posición de la línea, baje el diamante con un interruptor de pedal, mueva manualmente la pinza y complete la línea.