Medidor de resistencia de cuatro sondas KLA R50

Introducción del producto del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r50:

Sistema de topografía y cartografía de resistencia de cuatro sondas KLA R50Es un producto de la serie de pruebas de Resistencia kla. La medición y el monitoreo de la resistencia son importantes para cualquier industria que utilice películas conductoras, desde la fabricación de semiconductores hasta los productos electrónicos flexibles necesarios para la tecnología portátil.Medidor de resistencia de cuatro sondas KLA R50Se puede involucrar en áreas de medición como la distribución de uniformidad de películas metálicas, la caracterización del dopaje e inyección de iones, la distribución del espesor y la resistencia de las películas y el espesor de las películas sin contacto.

Ventajas del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r50:

• Configuración de sonda de cuatro puntos de contacto (4pp) y vórtice sin contacto (ce);

• Viaje de 100 mmz, control de alta precisión;

• Resistencia de película delgada de conductores y semiconductores, aplicable en 10 órdenes de magnitud;

• Edición personalizada del punto de prueba, incluyendo rectángulos, líneas, Coordenadas polares y configuración personalizada;

• Plataforma eléctrica 200mmxy;

• El software rsmapper es flexible y fácil de usar;

• Compatible con todas las sondas de medición de resistencia de película delgada de kla;

Principio de medición del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r50:

Sonda de cuatro puntos (4pp)Una sonda compuesta por cuatro sondas conductoras entra en contacto con la superficie de la capa conductora con una fuerza controlable, en la que hay una capa de bloqueo de resistencia no conductora entre la capa conductora medida y el sustrato. La configuración de la sonda medida estándar es aplicar una corriente entre las dos sondas exteriores y medir un voltaje entre las dos sondas interiores. Al medir la resistencia de la película, el espesor de la capa conductora debe ser inferior a 1 / 2 de la distancia entre las dos sondas. KLA enMedidor de resistencia de cuatro sondas R50En él se ha desarrollado una tecnología de doble modo que permite medir el voltaje en la sonda de intervalo y está equipada con la corrección dinámica del efecto límite y la compensación del error de distancia de la sonda. KLA ofrece una gran variedad de tipos de sondas para adaptarse y optimizar las mediciones de caracterización de diferentes materiales superficiales, que se pueden utilizar en casi cualquier película conductora o capa de implantación de iones.

Vórtice eléctrico (ce)Es una tecnología de medición de película conductora sin contacto. La corriente variable de tiempo se aplica a través de la bobina para generar un campo magnético variable de tiempo, en el que se produce una corriente variable de tiempo inducida (vórtice) cuando el campo magnético está cerca de la superficie conductora. Estos vórtices, a su vez, producen su propio campo magnético variable en el tiempo, que se combina con la bobina de la sonda para producir cambios de señal proporcionales a la resistencia de la muestra. La tecnología CE especial de kla, con una sola sonda en la parte superior de la muestra, permite ajustar dinámicamente la altura de la sonda en cada punto de medición, lo que es bastante importante para la precisión y repetibilidad de la medición. El método CE no se ve afectado por el tamaño de la sonda ni por la oxidación de la superficie, y es muy adecuado para muestras más blandas u otras que no son adecuadas para la medición por el método de contacto 4pp.

Aplicación de la industria del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r50:

Aplicación del producto del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r50:

I. uniformidad de las películas metálicas

La uniformidad de la resistencia de las películas metálicas es muy importante para garantizar el rendimiento de los componentes, y la mayoría de las películas metálicas se pueden medir a través de 4pp y EC. La CE recomienda para películas metálicas de alta conductividad más gruesas, 4pp para películas metálicas más delgadas (> 10 Omega / m2), pero en cualquier caso, 4pp / CE muestra una alta correlación, lo que garantiza que se puedan obtener resultados precisos utilizando cualquier método. El mapa de distribución de la resistencia del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA R50 puede caracterizar la uniformidad de la película, la calidad de deposición y otras fluctuaciones del proceso.

II. caracterización por implantación iónica

El método 4pp es una tecnología de medición estándar para medir el proceso de implantación de iones. Después del recocido térmico, se pueden identificar puntos calientes y fríos causados por fallas en las lámparas, contacto deficiente entre obleas / plataformas o cambios en la dosis de inyección mediante la prueba de la distribución de la implantación de iones. Para la capa de implantación de iones de silicio, el proceso de recocido térmico es necesario para activar los iones dopados.

III. espesor de la película / resistencia / resistencia de la película

A través de los datos de obleas recopilados,Medidor de resistencia de cuatro sondas KLA R50Se pueden dibujar mapas de distribución de la resistencia de la película, el espesor de la película o la resistencia eléctrica. A través de la resistencia eléctrica del material de entrada, se puede calcular y mostrar la distribución del espesor de la película; O introduciendo datos de espesor de película, se puede calcular la distribución de la resistencia.

IV. adquisición y visualización de datos

Medidor de resistencia de cuatro sondas KLA R50El software rsmapper combina la adquisición de datos con potentes funciones de análisis y tiene una interfaz visual intuitiva, es decir, se puede utilizar en el propio dispositivo o fuera de línea. Las diversas herramientas de diseño de coordenadas que viene con el software pueden ayudar a los usuarios a establecer fácilmente puntos de medición de datos.

Parámetros del producto del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r50:

Mapa de medición del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r50: