Medidor de resistencia de cuatro sondas KLA

Medidor de resistencia de cuatro sondas KLAEs el producto de medición de resistencia de kla. Desde la fabricación de semiconductores hasta los productos electrónicos flexibles necesarios para lograr la tecnología portátil, el monitoreo de la resistencia de la película es bastante importante para cualquier industria que utilice películas conductoras. El medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r54 ha optimizado funcionalmente la cartografía de la uniformidad de las películas metálicas, la caracterización de la implantación iónica y las características de recocido, la medición del espesor y la resistencia de las películas y la medición del espesor de las películas sin contacto.

Ventajas:

• Edición personalizada del punto de prueba, incluyendo rectángulos, líneas, Coordenadas polares y configuración personalizada

• Se puede optar por acomodar hasta 300 mm de muestras redondas o A4 (210mm * 297 mm)

• Resistencias de película delgada de conductores y semiconductores, aplicables en 10 rangos de magnitud

• Se puede configurar en modo de cuatro sondas (4pp) o vórtice sin contacto (ce)

• El sistema cerrado facilita la medición de muestras fotosensibles o sensibles al medio ambiente

• Soporte para una altura máxima de muestra de 15 mm

• Plataforma x - y de alta precisión

• Tamaño más pequeño de la sonda CE

• Corrección automática del error de altura de la sonda CE

• Sonda de medición de resistencia de película delgada KLA compatible;

Principio de medición:

La sonda de cuatro puntos (4pp) está compuesta por cuatro sondas conductoras que entran en contacto con la superficie de la capa conductora con una fuerza controlable, en la que hay una capa de bloqueo de resistencia no conductora entre la capa conductora medida y el sustrato. La configuración de la sonda medida estándar es aplicar una corriente entre las dos sondas exteriores y medir un voltaje entre las dos sondas interiores. Al medir la resistencia de la película, el espesor de la capa conductora debe ser inferior a 1 / 2 de la distancia entre las dos sondas. KLA ha desarrollado una tecnología de doble modo en el medidor de resistencia de cuatro sondas r54, que permite medir el voltaje en la sonda de intervalo y está equipada con la corrección dinámica del efecto límite y la compensación del error de distancia de la sonda. KLA ofrece una gran variedad de tipos de sondas para adaptarse y optimizar las mediciones de caracterización de diferentes materiales superficiales, que se pueden utilizar en casi cualquier película conductora o capa de implantación de iones.

El vórtice eléctrico (ce) es una tecnología de medición de película conductora sin contacto. La corriente variable de tiempo se aplica a través de la bobina para generar un campo magnético variable de tiempo, en el que se produce una corriente variable de tiempo inducida (vórtice) cuando el campo magnético está cerca de la superficie conductora. Estos vórtices, a su vez, producen su propio campo magnético variable en el tiempo, que se combina con la bobina de la sonda para producir cambios de señal proporcionales a la resistencia de la muestra. La tecnología CE especial de kla, con una sola sonda en la parte superior de la muestra, permite ajustar dinámicamente la altura de la sonda en cada punto de medición, lo que es bastante importante para la precisión y repetibilidad de la medición. El método CE no se ve afectado por el tamaño de la sonda ni por la oxidación de la superficie, y es muy adecuado para muestras más blandas u otras que no son adecuadas para la medición por el método de contacto 4pp.

Aplicaciones de la industria:

Aplicación del producto:

I. uniformidad de las películas metálicas

La uniformidad de la resistencia de las películas metálicas es muy importante para garantizar el rendimiento de los componentes, y la mayoría de las películas metálicas se pueden medir a través de 4pp y EC. La CE recomienda para películas metálicas de alta conductividad más gruesas, 4pp para películas metálicas más delgadas (> 10 Omega / m2), pero en cualquier caso, 4pp / CE muestra una alta correlación, lo que permite obtener resultados precisos utilizando cualquier método. El mapa de distribución de la resistencia del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r54 puede caracterizar la uniformidad de la película, la calidad de deposición y otras fluctuaciones del proceso.

II. caracterización por implantación iónica

El método 4pp es una tecnología de medición estándar para medir el proceso de implantación de iones. Después del recocido térmico, se pueden identificar puntos calientes y fríos causados por fallas en las lámparas, contacto deficiente entre obleas / plataformas o cambios en la dosis de inyección mediante la prueba de la distribución de la implantación de iones. Para la capa de implantación de iones de silicio, el proceso de recocido térmico es necesario para activar los iones dopados.

III. espesor de la película / resistencia / resistencia de la película

A través de los datos de obleas recogidos, El medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r54 puede dibujar un mapa de distribución de resistencia de película delgada, espesor de película delgada o resistencia eléctrica. A través de la resistencia eléctrica del material de entrada, se puede calcular y mostrar la distribución del espesor de la película; O introduciendo datos de espesor de película, se puede calcular la distribución de la resistencia.

IV. adquisición y visualización de datos

El software rsmapper del medidor de resistencia de cuatro sondas KLA r54 combina funciones de adquisición y análisis de datos y tiene una interfaz visual intuitiva, es decir, se puede utilizar en el propio equipo o fuera de línea. Las diversas herramientas de diseño de coordenadas que viene con el software pueden ayudar a los usuarios a establecer fácilmente puntos de medición de datos.

Parámetros del producto:

Medidor de resistencia de cuatro sondas KLAMapa de medición: