Medidor de pulverización de iones de magnetrón de alto vacío

NegociableActualización en01/27

modelo

Naturaleza del fabricante: Productores

Categoría de producto

Lugar de origen

Consulta en línea

Descripción general

El chorro de iones de magnetrón de alto vacío GVC - 2000td puede preparar una variedad de películas no metálicas metálicas, monocristalinas e inorgánicas; Sin romper el vacío, se puede lograr la preparación de películas compuestas multicapa.

Detalles del producto

高真空磁控离子溅射仪

I. ventajas del producto del salpicador de iones de magnetrón de alto vacío GVC - 2000td:

1. se pueden preparar diversas películas no metálicas metálicas, monocristalinas e inorgánicas;

2. sin romper el vacío, se puede lograr la preparación de películas compuestas multicapa;

3. operación con un solo clic, control totalmente automático, alto grado de inteligencia;

4. buena consistencia y repetición;

5. los parámetros de trabajo de los múltiples objetivos incorporados no necesitan explorar el proceso de recubrimiento;

6. pequeño tamaño, estructura compacta y ahorro de espacio.

　　2. parámetros del producto del salpicador de iones de magnetrón de alto vacío GVC - 2000td:

Tamaño exterior (motor principal)	424 (L) × 345 (D) × 420 (H)	Fuente de alimentación de entrada	220V / 50Hz 1000W
Objetivo de pulverización 1	Chorro de magnetrón de corriente continua	Objetivos disponibles	Objetivo metálico
Objetivo de pulverización 2	Chorro de magnetrón de radiofrecuencia	Objetivos disponibles	Objetivos inorgánicos no metálicos
Sistema de vacío	Bomba molecular de turbina- sí.Bomba de vacío giratoria	Velocidad de bombeo	90L/s - sí. 1.1L / s
Medición al vacío	Medidor de vacío compuesto	Rango de medición	1E-3 ~. 1E5Pa
Cámara de vacío	φ 200 × 130 mm Vidrio de borosilicato alto	Ritmo de bombeo	10 Min..≤5E-3Pa(...)
Tamaño de la Mesa de muestras	φ 90 mm	Cambio de mesa de muestra	Control automático
Tamaño del objetivo de pulverización	φ 57 mm(espesor 0,1-2 mm(...)	Vacío de trabajo	0,1-2Pa
Interfaz de operación	7 pulgada TFT Pantalla LCD táctil	Lenguaje de operación	Chino (otros idiomas opcionales)
Enfriador de agua	Refrigeradores de escritorio pequeños	Potencia del enfriador de agua	180W
Deflector de prepulverización	Estándar con deflector de preprint de control totalmente automático
Medidor de espesor de película (opcional)	Puede mostrar el espesor del recubrimiento en tiempo real y controlar el proceso de recubrimiento a través de la configuración, la precisión de la medición 0,01 nm, establecer precisión 0,1 nm, rango de configuración único 1-999nm
Medidor de espesor de película (opcional)
Componentes de control de temperatura (opcional)	Módulo de calentamiento de la Mesa de muestras 300℃/ 500℃
Componentes giratorios (opcional)	Rotación inclinada, rotación planetaria, etc.
Coche pequeño (opcional)	Ensamblar el motor principal, la fuente de alimentación de radiofrecuencia, el enfriador de agua, etc., tiene una buena integridad.
Entorno de instalación	220V / 10A Un enchufe de tres agujeros, pureza 4N Argón de alta pureza y superior (presión de salida) 0,12 MPa(...)

Producto similar Recomendar