Instrumento de ángulo de contacto

Tabla de surf hl200

Medidor de ángulo de contacto para obleas de hasta 8 pulgadas de diámetro

ObleasInstrumento de ángulo de contactoEs un instrumento de precisión dedicado a evaluar la humectabilidad de la superficie de las obleas semiconductoras, que cuantifica las propiedades de la superficie midiendo el ángulo de contacto (theta) formado en el límite de tres fases Gas - líquido - sólido.

Contexto físico

La tensión superficial de los materiales fotolitográficos (como fotorresistentes y desarrolladores) tiene un impacto potencial significativo en el propio proceso fotolitográfico. Por ejemplo, la uniformidad, la planitud y la adherencia del recubrimiento giratorio dependen directamente de las características de tensión superficial del material involucrado. Del mismo modo, la energía libre superficial (sfe) del recubrimiento también tiene un impacto significativo en sus propiedades.

En la tecnología de semiconductores, la energía libre de superficie (sfe) de los sustratos y capas funcionales se puede estudiar sistemáticamente a través de la tecnología de medición del ángulo de contacto. Al medir con precisión el ángulo de contacto, se pueden optimizar rápidamente los nuevos pasos del proceso y estandarizar mejor los procesos conocidos.

Los pequeños cambios en las características de la superficie de la obleas se manifestarán como cambios significativos y fáciles de detectar en los resultados de la medición del ángulo de contacto, proporcionando así una orientación clara para la mejora del proceso. Invertir una pequeña cantidad de tiempo en la medición del ángulo de contacto puede evitar eficazmente los problemas potenciales en los enlaces de producción posteriores, lo que a su vez trae beneficios económicos significativos. Para reducir la densidad de defectos de la estructura fotorresistente y lograr un control de tamaño característico inferior a 1 micra, es esencial garantizar una buena adherencia entre el fotorresistente y el sustrato. Con la ayuda de la tecnología de medición del ángulo de contacto, se puede lograr un control efectivo de la adherencia de manera simple y eficiente.

SURFTENS HL 200ObleasInstrumento de ángulo de contactoCaracterísticas

El sistema de medición del ángulo de contacto surftens hl200 se ha desarrollado especialmente para la industria de semiconductores y la investigación científica, y es especialmente adecuado para el control de procesos en el proceso de tratamiento de superficie de pastillas de silicio. Es una herramienta ideal para analizar el ángulo de contacto y la humectabilidad de las pastillas de silicio, y puede satisfacer eficientemente las necesidades de medición rápida, precisa y conveniente de la humectabilidad de las pastillas de silicio.

SURFTENS HL 200Medidor de ángulo de contacto de obleasTiene las siguientes características:

Diseño compacto, ahorro de espacio, con infraestructura mecánica cerrada;

- equipado con lentes de medición de alta calidad que apoyen la distancia focal fija para garantizar la precisión de la medición;

- Cámara de interfaz USB incorporada para la adquisición de imágenes de alta definición;

Todos los componentes básicos están integrados en una carcasa cerrada para evitar eficazmente la dislocación causada por interferencias externas;

- proporcionar un sistema de iluminación LED uniforme y con brillo ajustable para garantizar la coherencia y estabilidad del entorno de medición;

El diámetro de la Plataforma de cristal es de 200 mm, y la superficie está recubierta con recubrimiento de Teflon para mejorar la resistencia a la corrosión y la contaminación;

Apoyar el ajuste manual y preciso y el posicionamiento de la Plataforma de cristal en el eje X y la dirección de rotación (phi);

- estructura especial de la Mesa de trabajo para mapear rápidamente la distribución del ángulo de contacto en las pastillas de silicio;

Las obleas se pueden colocar de forma segura a través de pinzas de vacío;

La plataforma redonda de cristal tiene un rango de viaje de 100 mm y una función de rotación de 360 ° ángulo completo para satisfacer las diversas necesidades de medición;

Los resultados de la medición se presentan simultáneamente en el documento del Protocolo y en la imagen de vídeo, lo que facilita el análisis de diferentes dimensiones;

- si es necesario, se puede calcular la energía libre superficial de acuerdo con la teoría Wu / owrk.

El diseño de la estructura puede realizar una medición precisa de cualquier punto de la superficie de la obleas.

El eje X manual y el eje Phi de la Plataforma de cristal están equipados con escalas de precisión para facilitar el posicionamiento preciso a la posición objetivo.

Las funciones de ajuste del sistema de gotas son las siguientes:

- eje Z manual: para ajustar la posición de altura de la aguja;

- eje y manual: para corregir la posición central de la aguja;

- eje X manual: para ajustar la posición de enfoque de la aguja.

El esquema configurable del sistema de gotas es el siguiente:

- configuración de un único sistema manual de goteo directo;

- configuración de dos sistemas manuales de goteo directo;

- configuración de un único sistema automático de control de software para gotas directas;

- configurar dos sistemas de goteo directo controlados por software automático;

- combinar un sistema de goteo directo manual con un sistema de goteo directo controlado por software automático.

Con función de medición automática de alta precisión

Las gotas de prueba (generalmente agua desionizada) son generadas por un sistema de gotas directas manual o automático. Las imágenes de gotas se mostrarán instantáneamente en la pantalla del ordenador con imágenes de vídeo en tiempo real de alta calidad. El proceso de medición se puede iniciar a través de una operación de un solo clic, y el software puede calcular rápidamente el ángulo de contacto y presentar los resultados de manera gráfica, proporcionando información detallada de datos. El tiempo de medición por gota es de solo 1 segundo, lo que reduce significativamente la posibilidad de error. El surftens HL 200 tiene una experiencia de operación simple, al tiempo que garantiza una alta repetibilidad y precisión de medición.

Software de medición

El software de medición surftens puede realizar una medición automática y precisa del ángulo de contacto de las gotas colgantes basada en una variedad de algoritmos de ajuste de forma de gotas. Las gotas se pueden reconocer y detectar automáticamente a través de la tecnología de procesamiento de imágenes. En condiciones de bajo contraste, el software ofrece una variedad de funciones auxiliares de detección de gotas, como soporte para establecer manualmente la línea de base y realizar una medición manual completa del ángulo de contacto especificando puntos de medición en la pantalla. El alcance del servicio se ha ampliado aún más debido a las siguientes funciones de medición adicionales y opciones de servicio:

- visualización dinámica de los valores del ángulo de contacto actual en imágenes de vídeo en tiempo real

- medición automática del ángulo de contacto que cambia con el tiempo y presentación gráfica de los resultados de la medición (el tiempo de ciclo se puede seleccionar libremente hasta 50 veces por segundo)

- medición del ángulo de contacto hacia adelante y hacia atrás basado en imágenes de vídeo en tiempo real

- medición simultánea del ángulo de contacto a la izquierda y a la derecha

- detección precisa del volumen de las gotas una vez finalizado el proceso de distribución y la colocación de las gotas

El software incorpora un módulo de evaluación basado en la teoría owrk / wu, capaz de calcular la energía libre superficial de los sólidos a través de datos de ángulo de contacto de hasta cinco líquidos de medición.

La función de extraer ARCHIVOS AVI de flujos de vídeo en tiempo real es extremadamente práctica. Después de eso, todas las funciones de medición y documentación se aplican a cualquier imagen individual en todo el video o video.

Los resultados de la medición se pueden almacenar fácilmente en la grabación o en la imagen de video.

Parámetros técnicos:

- Mesa de muestra: 200 mm o 300 mm de diámetro, soporte para posicionamiento preciso X / PHI

- espesor de la muestra: 0 a 5 mm

- rango de medición del ángulo de contacto: 1 ° a 180 °

- resolución / precisión de la medición del ángulo de contacto: 0,01 °/ ± 0,1 ° (en modo de vídeo en tiempo real, cuando se realiza la medición basada en el estándar del ángulo de contacto)

- sistema óptico (configuración estándar): ampliación 1x, enfoque eléctrico

- sistema de vídeo (estándar): en blanco y negro, interfaz USB 2.0, 440.000 píxeles

- medición del ángulo de inclinación del sistema óptico: fijado a aproximadamente 1 °

- fuente de luz: panel luminoso de larga vida

- Unidad de llenado: manual individual (estándar); Unidad de doble llenado o sistema de llenado automático (opcional)

- volumen titulado mínimo: 0,2 μl

- resolución / precisión de titulación: 0,1 μl (con agua como medio)

- tipo de jeringa: jeringa de vidrio o desechable con Luer - lock

- sistema operativo: Windows