Las siguientes son las pautas de mantenimiento del recubrimiento de pulverización de magnetrón de radiofrecuencia:

1. mantenimiento del sistema de vacío

Comprobar el Estado de funcionamiento de la bomba de vacío: comprobar regularmente el Estado de funcionamiento de la bomba de vacío, incluido si el nivel de aceite es normal. Si se descubre que la cantidad de aceite es insuficiente o la calidad del aceite se deteriora (como el color negro, turbio, etc.), se debe rellenar el aceite nuevo o reemplazar el aceite de bomba envejecido a tiempo. Al mismo tiempo, preste atención a si la bomba de vacío tiene un sonido o vibración anormales durante el funcionamiento, una vez que se produce, debe detenerse inmediatamente para comprobar y resolver el problema.

Limpiar el filtro y la tubería: para evitar que el bloqueo afecte la eficiencia de la extracción de aire, es necesario limpiar regularmente el filtro de la bomba de vacío y las impurezas y el polvo en la tubería de conexión. Esto ayuda a mantener un buen efecto de extracción al vacío y garantizar la pureza del entorno de recubrimiento.

Detección de estanqueidad: verifique con frecuencia el sellado de la Cámara de vacío para asegurarse de que no hay fugas. Se puede verificar realizando pruebas de estanqueidad, como observar si la lectura del vacuómetro es estable después de cerrar todas las válvulas. Para los puntos de fuga de aire encontrados, se deben tomar medidas oportunas para repararlos, como reemplazar los anillos de sellado dañados.

2. fuente de vapor y mantenimiento de la fuente de pulverización del recubrimiento de pulverización de magnetrón de radiofrecuencia

Comprobar el Estado de funcionamiento de los componentes: Inspeccionar regularmente los elementos de calefacción, los objetivos y los componentes clave del sistema de refrigeración de la fuente de vapor y la fuente de pulverización. Comprobar si el elemento de calefacción está intacto y si se puede calentar normalmente; Si el material objetivo está desgastado, agrietado, etc.; Si las bombas de agua, radiadores, etc. del sistema de refrigeración funcionan correctamente. Para los componentes gravemente dañados o envejecidos, deben reemplazarse a tiempo para garantizar el funcionamiento normal del equipo.

Limpiar las impurezas circundantes: eliminar las impurezas y residuos alrededor de la fuente de vapor y la fuente de pulverización a tiempo para evitar que se mezclen en la película, afectando así la tasa de crecimiento y la calidad de la película. Se puede limpiar y limpiar con trapos limpios o herramientas especiales.

3. mantenimiento del sistema de control

Verificar la precisión del sensor: calibrar regularmente varios sensores en el sistema de control, como sensores de temperatura, sensores de presión, etc., para garantizar la precisión y sensibilidad de sus datos de medición. Los sensores inexactos pueden causar que los parámetros del proceso se descontrolen, lo que a su vez afecta el efecto del recubrimiento.

Respuesta del ejecutor de prueba: verifique si la velocidad de respuesta y la precisión del ejecutor cumplen con los requisitos para garantizar que pueda ejecutar las instrucciones de control con precisión. Por ejemplo, verifique si la válvula impulsada por el motor se puede abrir o cerrar a la posición designada de manera rápida y precisa.

Programa de datos de respaldo: para evitar la pérdida de datos o la corrupción del programa, los datos y programas del sistema de control deben ser respaldados regularmente. De esta manera, en caso de emergencia, se puede restaurar rápidamente la configuración normal y el modo de funcionamiento del equipo.

4. mantenimiento del sistema de enfriamiento del recubrimiento por pulverización de magnetrón de radiofrecuencia

Monitorear el funcionamiento de la bomba de agua: garantizar el funcionamiento normal de la bomba de agua del sistema de refrigeración, con suficiente flujo de agua a través de cada parte de disipación de calor. Si la bomba de agua falla, puede causar sobrecalentamiento del equipo y dañar otros componentes clave.

Limpiar la suciedad del disipador de calor: limpiar regularmente las impurezas y la suciedad en la superficie del disipador de calor para mejorar la eficiencia de la disipación de calor. Al mismo tiempo, también es necesario comprobar si hay obstrucciones en la tubería para garantizar que el refrigerante pueda circular sin problemas.

Cambio de refrigerante: preste atención a los cambios en la calidad y el nivel del agua del refrigerante, cambie el refrigerante envejecido a tiempo y agregue suficiente refrigerante nuevo. El refrigerante inferior o insuficiente puede afectar el efecto de disipación de calor y aumentar el riesgo de falla del equipo.

5. mantenimiento del sistema de admisión

Garantizar la estabilidad de la pureza del gas: comprobar regularmente la pureza y estabilidad de la fuente de gas para evitar que las impurezas entren en el interior del equipo. El gas de reacción impuro puede tener reacciones adversas con el material de recubrimiento, lo que reduce la calidad de la película.

Calibrar el manómetro del medidor de flujo: verifique con frecuencia la precisión y estabilidad del medidor de flujo y el manómetro del sistema de admisión para asegurarse de que el flujo y la presión del gas de reacción se pueden controlar con precisión. Esto es crucial para obtener la estructura y las propiedades ideales de la película.

Limpiar las válvulas de las tuberías: limpiar regularmente las tuberías y válvulas del sistema de admisión para evitar obstrucciones y fugas causadas por polvo, aceite, etc. Mantener el sistema de admisión sin obstáculos ayuda a mantener un entorno de proceso estable.

6. mantenimiento del dispositivo de fijación del sustrato del recubrimiento de pulverización de magnetrón de radiofrecuencia

Estabilidad del soporte de fijación: verifique si el soporte en el dispositivo de fijación del soporte es sólido y confiable para asegurarse de que el soporte no se suelte ni se caiga durante el proceso de recubrimiento. El sustrato suelto puede causar un espesor desigual de la película o una disminución de la adherencia.

Ajustar la lubricación de Nivelación de la guía: comprobar la planitud y la lubricación de la guía, ajustar y agregar grasa lubricante si es necesario para garantizar que el sustrato se mueva sin problemas. Las guías desiguales o carentes de lubricación aumentan la resistencia al movimiento del sustrato y afectan la uniformidad del recubrimiento.

Comprobar la precisión de la transmisión del motor: comprobar regularmente el Estado de funcionamiento del motor y la precisión del mecanismo de transmisión para garantizar que la trayectoria de movimiento del sustrato sea precisa y correcta. El control preciso del Movimiento es una de las garantías importantes para lograr un recubrimiento de alta calidad.