1. fugas de vacío
Fenómeno: el vacío no puede alcanzar el valor establecido o seguir disminuyendo.
Razones:
El anillo de sellado está envejecido, agrietado o instalado incorrectamente.
Las conexiones de la tubería están sueltas o hay pequeñas grietas.
Hay agujeros de aguja o defectos de soldadura en la pared de la Cámara de vacío.
Solución:
Revise regularmente el anillo de sellado y reemplace cada 6 - 12 meses.
El detector de fugas de espectrometría de masas de helio se utiliza para localizar el punto de fuga, que debe volver a detectarse después de la reparación.
Se realiza una prueba de presión en la Cámara de vacío.
2. desprendimiento de la película
Fenómeno: después del recubrimiento, la película se separa del sustrato o se pela en rodajas.
Razones:
Contaminación de la superficie del sustrato (aceite, vapor de agua, polvo).
No se hornea completamente antes del recubrimiento.
El estrés de la película es demasiado grande.
Solución:
Fortalecer la limpieza de la base.
Instalar una fuente de iones para la limpieza de bombardeo antes del chapado.
Optimizar los parámetros del proceso.
3. la bomba de vacío no se puede arrancar
Fenómeno: el cuerpo de la bomba no responde después de presionar el botón de inicio.
Razones:
Falla de alimentación (tensión inestable, cortocircuito en la línea).
Se activa la protección contra daños en el motor o sobrecalentamiento.
Contaminación por aceite o nivel insuficiente de aceite en la bomba.
Solución:
Compruebe la línea de alimentación y la estabilidad de voltaje.
Reemplace el motor o espere a que el cuerpo de la bomba se enfríe para reiniciar.
Cambie el aceite de vacío regularmente y mantenga el nivel de aceite por encima de la escala.
4. el vacío disminuye repentinamente
Fenómeno: el vacío disminuye bruscamente durante la operación y no puede mantener los requisitos del proceso.
Razones:
La bomba falló.
Contaminación en el interior del vacío.
El flujo insuficiente de agua de enfriamiento hace que el cuerpo de la bomba se sobrecaliente.
Solución:
Limpiar la bomba de difusión y reemplazar el aceite especial cada año.
定期清理真空室。
Compruebe el circuito de agua de enfriamiento para asegurarse de que el flujo sea ≥ 5L / min.
5. materiales depositados desiguales
Fenómeno: el espesor o la composición de la película no se distribuyen uniformemente en el sustrato.
Razones:
Desviación de la fuente de deposición o inestabilidad de la velocidad del crisol.
La base no está fija ni bloqueada.
La interferencia del campo magnético / eléctrico conduce a la desviación del haz.
Solución:
Ajustar la posición de la fuente de deposición para garantizar la alineación con el Centro de la base.
Utilice accesorios de herramientas para fijar la base y evitar la oclusión.
Compruebe los parámetros de la bobina electromagnética y optimice la trayectoria del haz.
6. falla en el control del espesor de la película
Fenómeno: la desviación entre el espesor real de la película y el valor establecido supera ± 5%.
Razones:
La calibración del controlador de cristal (medidor de espesor de película) falló.
La posición de la sonda se desvía o está contaminada.
Fluctuación de los parámetros del proceso (como la velocidad de evaporación inestable).
Solución:
Calibrar el controlador de cristal con una película gruesa estándar trimestralmente.
Limpiar la superficie de la sonda y ajustarla a 5 - 10 cm de la base.
Estabilizar el voltaje de la fuente de alimentación y evitar cambios repentinos en los parámetros durante el proceso de evaporación.
7. la contaminación del gas provoca una disminución de la membrana
Fenómeno: la película presenta agujeros de aguja, manchas de color o disminución de la adherencia.
Razones:
La Cámara de vacío no está atravesada - escape inferior (vapor de agua residual, oxígeno).
Se escapa al aire durante el proceso de recubrimiento.
El material de membrana absorbe la humedad o contiene impurezas.
Solución:
Antes de recubrir, bombear vacío a ≤ 5 × 10 ⁴ pa y hornear para desgasificar.
Compruebe todas las interfaces selladas y reemplace los sellos envejecidos.
Antes de usar la película, es necesario prefundir y desgasificar en la Cámara de vacío.
8. falla del sistema de calefacción
Fenómeno: la temperatura de la base no puede alcanzar el valor establecido o fluctúa demasiado.
Razones:
El elemento de calefacción está cortado o en mal contacto.
Los parámetros de la EIP del controlador de temperatura no se establecen adecuadamente.
La posición del termómetro se desvía o se daña.
Solución:
Compruebe la conexión del cable de calefacción y reemplace los elementos de Corte.
Reajustar los parámetros del controlador de temperatura.
Ajustar el par térmico a la posición central de la base y calibrarlo una vez al año.
9. falla del sistema de control electrónico
Fenómeno: el panel de operación no tiene respuesta o los parámetros muestran anomalías.
Razones:
El panel de control está húmedo o acumulado de polvo.
La conexión del sensor está suelta o dañada.
El programa de software se estrelló.
Solución:
Limpie regularmente el Gabinete de control con aire comprimido seco.
Compruebe la línea del sensor y reemplace el componente defectuoso.
Reinicie el sistema o reinstale el software de control.
10. anomalías en el sistema de filamento / haz
Fenómeno: sin salida de haz o con grandes fluctuaciones de haz.
Razones:
El filamento se quema o envejece.
El límite de haz no ha vuelto a cero o el Potenciómetro ha fallado.
La cubierta protectora del electrodo de alta tensión está cortocircuitada.
Solución:
Reemplace el nuevo filamento y asegúrese de que la posición esté en el Centro al instalarlo.
Después de la prefusión, el limitante de haz se devuelve a cero antes de arrancar.
Compruebe el aislamiento de la cubierta protectora y limpie los puntos de cortocircuito.