El principio de diseño del medidor de carbono de evaporación térmica de alto vacío se basa en el proceso de depósito de evaporación física en un ambiente de vacío, cuyo núcleo es evaporar el material de carbono a alta temperatura y depositarlo en la superficie de la muestra para formar una película conductora uniforme. Los siguientes son los secretos detallados de su principio de diseño:

I. establecimiento de un entorno de vacío

1. eliminar el gas de interferencia: antes de recubrir, el interior del instrumento debe alcanzar un alto vacío específico, generalmente con la ayuda de equipos como bombas mecánicas o Bombas moleculares para extraer moléculas de gas en la Cámara. Este paso es fundamental, ya que solo en ambientes de baja presión se puede evitar efectivamente la colisión de moléculas de gas con sustancias evaporadas, asegurando que los átomos o moléculas de carbono puedan propagarse libremente y depositarse con precisión en la superficie de la pieza de trabajo.

2. garantía de estanqueidad: la Cámara de vacío es el componente central y está hecha de materiales de alta resistencia y baja permeabilidad al gas para mantener un Estado de vacío estable. Una buena estanqueidad es clave para garantizar un ambiente de vacío que evite que el aire y otros gases impuros entren en la cámara, afectando la calidad del recubrimiento.

2. evaporación de materiales de carbono en el medidor de evaporación térmica de alto vacío

1. elección de la fuente de vapor: por lo general, se eligen barras de grafito de alta pureza o fibra de carbono como fuente de vapor. Estos materiales tienen una composición química fija y buenas propiedades físicas, y pueden evaporar átomos de carbono de manera estable durante el proceso de calentamiento.

2. método de calentamiento: el instrumento calienta la fuente de carbono sólida a un Estado de alta temperatura (por encima de unos 3.000 grados celsius) mediante calentamiento por resistencia eléctrica o calentamiento por haz de electrones, sublimando a gas. En este proceso, los átomos o moléculas de carbono obtienen suficiente energía para superar las fuerzas de unión superficial y entrar en la Cámara de vacío.

3. deposición de átomos de carbono en el medidor de evaporación térmica de alto vacío

1. difusión libre: los átomos o moléculas de carbono gaseosos se propagan libremente en la Cámara de vacío y se transmiten rápidamente a la superficie del sustrato en un movimiento lineal básicamente sin colisión.

2. condensación en película: cuando los átomos o moléculas de carbono gaseoso se encuentran con la superficie de la pieza de trabajo a una temperatura más baja, se vuelven a condensar en estado sólido y gradualmente forman una película de carbono en la superficie de la pieza de trabajo. En este proceso, se produce una colisión bidimensional entre los átomos depositados, formando clusters, que finalmente forman películas continuas a través del contacto y la fusión de núcleos estables adyacentes.

IV. garantía de la deposición uniforme

1. diseño de la Mesa de muestra: las muestras generalmente se colocan en la Mesa de muestra giratoria para garantizar una deposición uniforme de múltiples ángulos. La ubicación de la muestra y la fuente de vapor debe mantenerse adecuada, y estar demasiado cerca de la fuente de vapor puede causar sobrecalentamiento local, y demasiado lejos puede reducir la eficiencia de deposición.

2. algoritmo de control de evaporación: GVC - 3000T utiliza un algoritmo de control de evaporación único para lograr una deposición precisa de átomos de carbono controlando con precisión la Potencia de calentamiento y el tiempo de evaporación. Este algoritmo puede garantizar que el espesor y la uniformidad de la película de carbono se puedan controlar estrictamente en diferentes condiciones de proceso.

V. funciones auxiliares y medidas de protección del medidor de carbono de evaporación térmica de alto vacío

1. función de protección: el instrumento está equipado con una variedad de funciones de protección, como protección de vacío, protección de sobrecorriente y protección de sobrepresión, para garantizar la seguridad y estabilidad del equipo durante el funcionamiento.

2. monitoreo y control de temperatura: a través de sensores térmicos de alta precisión y termómetros infrarrojos, el instrumento puede monitorear la temperatura de la fuente de vapor en tiempo real y ajustar automáticamente la Potencia de calentamiento de acuerdo con la desviación entre el valor establecido y el valor real para garantizar la estabilidad del proceso de evaporación.