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Wuxi dixin Technology co., Ltd.
Sistema Deportivo personalizado de plataforma de balanceo parcial de la serie ZTT - V2
NegociableActualización en05/06
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Descripción general
El sistema de movimiento personalizado de la Plataforma de balanceo parcial de la serie ZTT - V2 es una plataforma de posicionamiento de precisión integrada de tres ejes de elevación vertical y nivelación horizontal, impulsada por un motor lineal y acoplada por una bisagra esférica de precisión, con una excelente precisión de micromovimiento y rendimiento dinámico. La altura general es pequeña, el tamaño es exquisito, la rigidez es alta, la capacidad de carga puede alcanzar los 10 kg, compatible con el entorno de la Sala limpia. $r $n $r $nztt - V2 tiene una precisión de posicionamiento estático punto a punto, pero también una precisión dinámica muy sobresaliente, que puede adaptarse a aplicaciones como la detección de obleas, la alineación óptica, la detección de paneles o la litografía sin máscara, que requieren estrictos requisitos de error de seguimiento micro - Movimiento y dinámico.
Detalles del producto
Sistema Deportivo personalizado de plataforma de balanceo parcial de la serie ZTT - V2Es una plataforma de posicionamiento de precisión integrada de tres ejes de elevación vertical y nivelación horizontal, impulsada por un motor lineal y acoplada por una bisagra esférica de precisión, con una excelente precisión de micromovimiento y rendimiento dinámico. La altura general es pequeña, el tamaño es exquisito, la rigidez es alta, la capacidad de carga puede alcanzar los 10 kg, compatible con el entorno de la Sala limpia.
Sistema Deportivo personalizado de plataforma de balanceo parcial de la serie ZTT - V2Al mismo tiempo que tiene una precisión de posicionamiento estático punto a punto, también tiene una precisión dinámica muy sobresaliente, que puede adaptarse a aplicaciones como la detección de obleas, la alineación óptica, la detección de paneles o la litografía sin máscara, que requieren estrictos errores de micro - Movimiento y seguimiento dinámico, y ajustar la altura y la postura del ángulo en tiempo real de acuerdo con la altura de enfoque del sensor para resolver los problemas de control de movimiento del cliente de muchas maneras.
Paso mínimo de la plataforma ZTT - V2prueba
Paso z a 20nm
Estabilidad en posición de cada eje
| Nombre del eje | Z | θx | θy |
| Itinerario válido | 5 mm | 2 ° | 2 ° |
| Precisión de posicionamiento | ± 0,3 μm | NA | NA |
| Precisión de posicionamiento repetida | ± 0,1 μm | ±0,1 arcsec | ±0,1 arcsec |
| Velocidad máxima \ maximum Speed (1) | 20 mm/s | NA | NA |
| Aceleración máxima \ máxima aceleración (1) | 1 gramo | NA | NA |
| Paso mínimo \ mínimo incremental (2) | 20 nm | 0,05 segundos de arco | 0.05arcsec |
| Carga máxima | 10 kg | ||
| Peso de la plataforma | 10 kg | ||
| Material de la plataforma | aluminio | ||
Nota:
(1) sin carga, es necesario configurar el amplificador de Potencia correspondiente;
(2) la posición predeterminada del punto de prueba es de 25 mm por encima de la encimera.
Nota:
(1) unidad: mm;
(2) el conector del cable no se muestra;
(3) se pueden descargar dibujos 3D completos.
Opciones de configuración del producto
| Gama de productos | Tamaño de la encimera | retroalimentación |
| ZTT-V2 | -200 | -AS |
Opciones de retroalimentación
| -AS | Entrada analógica sinusoidal de 1 voltio vpp |
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