Plataforma deportiva de detección de obleas

Plataforma deportiva de detección de obleasEs una plataforma de posicionamiento de precisión integrada de cuatro ejes xyzt, impulsada por un motor lineal, con una guía de rodillos cruzados de precisión, con muy buen rendimiento y precisión de posicionamiento, la frecuencia de corte sin carga del eje XY puede alcanzar más de 120hz, con buena estabilidad de velocidad, por encima de la encimera superpuesta de cuatro ejes, utilizando la frecuencia de muestreo del interferómetro 5K para probar el error de posición de la Sección de velocidad uniforme Cube - 4, la desviación estándar STD del error de seguimiento dinámico de cada posición de 0,5 mm es inferior a 50 nm. la frecuencia de corte sin carga del eje Z puede alcanzar más de 200 hz. El eje Theta utiliza un motor de tracción directa giratoria, equipado con guías circulares y rejillas, tanto de alta velocidad como de alta precisión. Además, el eje Theta adopta un diseño oculto hundido, lo que hace que la altura general de la Cube - 4 sea baja, y la caída del punto de trabajo es propicia para mejorar la precisión de posicionamiento en la aplicación práctica.

Además, el eje Z puede caminar 100 micras en 30 ms y ajustarse a ± 50 nm. Cube - 4 es una aplicación de escaneo de detección biológica o de obleas con precisión dinámica muy prominente, que puede adaptarse a los estrictos requisitos de error dinámico. el eje Z se puede ajustar a alta velocidad en tiempo real de acuerdo con la altura de La distancia de trabajo del sensor para resolver los problemas de control de movimiento del cliente.

Prueba de rendimiento dinámico de la Plataforma de cuatro ejes de la serie Cube - 4

Prueba dinámica de la frecuencia de muestreo 5K del interferómetro: error de seguimiento de la posición de la Sección de velocidad uniforme xy, menos de 50 nm por desviación estándar STD de 0,5 mm

Prueba de paso mínimo de la Plataforma de cuatro ejes de la serie Cube - 4

El eje Z avanza 100 micras y se ajusta a ± 50 nm en 30 ms.

Plataforma deportiva de detección de obleasNota

(1) medición paralela o vertical a la dirección del bloque en forma de cuña;

(2) prueba sin carga;

(3) fuerzas a lo largo de la dirección del eje;

(4) adaptación - retroalimentación as, configuración de amplificador lineal;

(5) la posición predeterminada del punto de prueba es de 25 mm por encima de la encimera, el índice de eje único, y el índice de rendimiento del sistema multieje está relacionado con la carga real y la posición del punto de trabajo;

(6) otros itinerarios se pueden personalizar.