Medidor de esfuerzo de deformación de obleas

ventaja

□ muestreo y medición uniformes de calibre completo, con un intervalo de muestreo mínimo0,1 mm

□ también tiene funciones de medición de deformación y medición de esfuerzo

□ muestra intuitivamente el cambio circular del cristal causado por la película, que puede calcular la curvatura y el estrés de cualquier ángulo.

▲ módulo adicional: módulo de medición de tensión y temperatura de película delgada(temperatura ambiente a500℃）

□ ricas funciones de análisis de software, incluyendo: gráfico de deformación tridimensional, estadísticas de parámetros de deformación de obleas..BOW,GuerraEtc.),El ROIparte Análisis, estrés y distribución de la película, cambio de estrés con el tiempo, medición de la temperatura del cambio de estrés de la película, cálculo de curvatura, ajuste polinómico, filtrado espacial y otros algoritmos de reprocesamiento.

Objeto aplicable

2-8 pulgada/ 12 Obleas pulidas de pulgada (silicio, arsénico de galio, carburo de silicio, etc.), obleas gráficas, obleas vinculadas, obleas encapsuladas, etc.Vidrio de sustrato lcd; Superficies tratadas por varios procesos de película delgada

Áreas de aplicación

- Inspección de la producción y la calidad de semiconductores y obleas de vidrio

□ investigación y desarrollo del proceso de película delgada semiconductora

□ control de procesos y análisis de fallas en procesos de semiconductores y procesos de adelgazamiento de envases

Principio de detección

□ durante el proceso de fabricación de obleas, las películas se depositan repetidamente en la superficie de las obleas, y las diferencias entre las características del sustrato y el material de la película causan deformación, deformación y delgadez de las obleas.El estrés de la membrana tendrá un impacto importante en el rendimiento del proceso.

□ Se utiliza el método de imagen de reflexión de luz estructural para medir la distribución de deformación tridimensional de la obleas y se calcula el porcentaje de tensión de la película mediante la medición del radio de curvatura de deformación.Tela, con características sin contacto, sin escaneo mecánico y alta tasa de muestreo, el tiempo de medición del calibre completo de la obleas es inferior al30 años

- AprobaciónStoneyFórmulas y modelos relacionados para calcular la distribución del estrés de la película de obleas

Medidor de esfuerzo de deformación de obleas