Medidor de ángulo de contacto de obleas

Plaqueta de flujo ThetaMedidor de ángulo de contacto de obleasEs un instrumento automático de medición del ángulo de contacto de la obleas. El instrumento incluye el cuerpo principal del medidor de ángulo de contacto óptico Theta flow, que se puede configurar con cuatro goteros automáticos con control de software, movimiento horizontal y cabeza de gotero desechable, así como una mesa de muestras XYZ totalmente automática con rotación automática.

La medición del ángulo de contacto en la obleas es crucial para evaluar la humectabilidad y las características de la superficie de estos materiales, que son ampliamente utilizados en la fabricación electrónica. Al evaluar el ángulo de contacto de las gotas con la superficie del chip, los investigadores pueden comprender en profundidad la Energía superficial y las propiedades de adhesión del silicio. Esta información es esencial para optimizar los procesos de recubrimiento, litografía y Unión en la fabricación de semiconductores. Comprender el ángulo de contacto ayuda a garantizar la interacción esperada entre el chip y los diversos materiales utilizados en el proceso de producción, mejorando en última instancia el rendimiento y la fiabilidad de los dispositivos electrónicos.

aplicación

- estudiar la limpieza de la superficie

La medición del ángulo de contacto permite evaluar la limpieza de las obleas para evaluar la eliminación de contaminantes superficiales y residuos.

- determinación de la energía libre superficial

Al medir el ángulo de contacto, se puede deducir la energía libre de la superficie, que es esencial para entender cómo otros materiales interactúan con la obleas.

- conocer las propiedades de adhesión

El ángulo de contacto ayuda a determinar las propiedades de adhesión de los recubrimientos y películas aplicadas a las obleas.

- Estudio de hidrofilicidad / hidrofobicidad

La medición del ángulo de contacto puede determinar si la superficie de la obleas es hidrofílica o hidrofóbica, lo que afecta a procesos como la litografía y el grabado.

- para el control de calidad

Las mediciones periódicas del ángulo de contacto pueden formar parte de un proceso de control de calidad para garantizar la consistencia en el procesamiento y procesamiento de obleas.

Función de software que admite la medición del ángulo de contacto de la obleas

• modo por lotes para mediciones rápidas de varias filas de obleas.

- el método estándar de goteo de asiento, que permite un análisis más profundo.

Mesa giratoria automática de obleas

El Banco de muestras de obleas de la serie Theta es una plataforma eléctrica controlada por software para girar las obleas para lograr la medición automática del posicionamiento del ángulo de contacto de las obleas de hasta 12 pulgadas de diámetro.

Las mesas de muestra de obleas de la serie Theta incluyen Mesas giratorias (t340r) y mesas de obleas (t340rw). El enchufe de la encimera de la obleas ayuda a la alineación y posicionamiento de alta precisión de la obleas. El PIN de posicionamiento también ayuda a mantener la obleas en su lugar durante el proceso de medición. Para fijar aún más la obleas, también se puede conectar a la bomba de vacío a través de una conexión de vacío incorporada.

El Banco de muestras de obleas de la serie Theta está conectado al Banco de muestras automático xyz, que puede localizar automáticamente obleas de hasta 12 pulgadas de diámetro. Para maximizar el rendimiento de la Mesa giratoria, se recomienda combinarla con cuatro goteros de cabeza desechables. Esto permitirá realizar automáticamente mediciones de energía libre de superficie o aumentar el número de mediciones continuas cuando solo se utilice agua.