Interruptor de presión de vacío vs100

NegociableActualización en01/07

modelo

Naturaleza del fabricante: Productores

Categoría de producto

Lugar de origen

Consulta en línea

Descripción general

El interruptor de presión de vacío vs100 utiliza un sensor de presión piezoresivo para detectar el cambio de presión del medio, en comparación con el punto de Acción de presión preestablecido, y convierte la presión en una señal de conmutación. Se aplica en circuitos integrados, encapsulamiento, iluminación de semiconductores, semiconductores de potencia, semiconductores compuestos.

Detalles del producto

Puntos de innovación

El punto de presión de Acción se puede establecer para reducir efectivamente el tipo de material y el tipo de inventario del cliente.

La configuración del punto de Acción de presión incluye 75 a 735torr, 20 a 990torr, etc.

Alta precisión

Se puede reemplazar el interruptor de vacío mecánico tradicional.

áreas de aplicación

Semiconductores - circuitos integrados

Semiconductores - Encapsulamiento

Iluminación de semiconductores

Semiconductores de potencia

Semiconductores compuestos

Indicadores técnicos

modelo	VS100
Configuración del rango y el punto de Acción de presión	Rango	Configuración del punto de Acción de presión
	Presión absoluta 750torr	75 - 735 Torr
	Presión absoluta 1000torr	20 - 990 tokens
	Presión de la tabla - 750 a 750torr	- 150 - 110 tormentos
	Nota: el valor establecido del punto de Acción de presión es generalmente del 1% * FS al 99% * FS
Configuración predeterminada	El modelo común está predeterminado: alarma de límite superior, punto de Acción 99% fs, retraso 2% fs. Para establecer el tiempo, es necesario utilizar el software especial y los cables proporcionados por el proveedor. La Dirección de alarma, el punto de acción y el retraso del equipo personalizado se han completado en la fábrica de acuerdo con los requisitos.
Precisión	± 0,5% FS
Tasa de fuga	< 1x10^-9atm.cc/sec Él
Coeficiente de deriva de temperatura	0,1% FS / ℃
Rango de temperatura de funcionamiento	0～80℃
Límite de resistencia a la presión	El doble de la presión nominal
Presión de voladura	5 veces la presión nominal
Materiales del lado del proceso	316L Ss SEMI F20 / Hastelloy C-276
Tensión de alimentación	24V ± 10% VDC
salida	Cuando la salida del relé de contacto pasivo (1no, 1nc) no está encendida, no está abierta y NC Está cerrada.
Interfaz eléctrica	Línea dispersa / db9 Male
Modo de configuración del punto de acción	Configuración antes de salir de la fábrica / configuración del cliente
Tipo de interfaz	1.125 "C-sello / 1.125" W-sello / 4VCR / KF25 (NW25) / KF16

Producto similar Recomendar