-
Correo electrónico
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
-
Teléfono
18610520676
-
Dirección
Patio 13, calle jingyuan, zona de desarrollo económico y Tecnológico de Beijing
Categorías de producto
Beijing Huacheng Electronics co., Ltd.
Válvula de mariposa bv300
NegociableActualización en01/07
- modelo
- Naturaleza del fabricante
- Productores
- Categoría de producto
- Lugar de origen
Descripción general
La Válvula mariposa bv300 es ampliamente utilizada en semiconductores, pantallas planas, energía solar de silicio cristalino y procesos industriales para controlar la presión aguas abajo de la cámara, lo que puede personalizar y resolver las necesidades de control rápido de la presión en condiciones de proceso duras.
Detalles del producto
Puntos de innovación
Tecnología de detección de presión de autoajuste de dos vías
Admite la adquisición de señales de dos medidores de vacío, compatible con el suministro de energía de medidores de vacío de ± 15v o + 24v, y puede cambiar automáticamente el rango de medición de acuerdo con las necesidades del proceso.
Tecnología de control de presión L - V - P
Al registrar la relación entre la presión y la apertura de la válvula en el entorno del proceso, la unidad de control de presión realiza cálculos dinámicos de la relación de presión, la relación de presión de posición, la posición de presión objetivo y el tiempo estimado de llegada a la presión objetivo cuando se utilizan los tres anillos de posición, velocidad y presión Para lograr un control de presión rápido y estable.
Tecnología de la función de autoaprendizaje
Admite la función de autoaprendizaje, que puede adaptarse a diferentes sistemas de vacío de cámara y diferentes condiciones de trabajo para lograr un control de presión rápido y preciso.
Tecnología de SERVOMOTORES
Se adopta un sistema de chip de control servomotor personalizado, a través del algoritmo de control de pendiente multipunto, se realiza un posicionamiento más rápido de la placa de mariposa, y el tiempo de respuesta del interruptor puede alcanzar 0,2s.
áreas de aplicación
Semiconductores - circuitos integrados
Semiconductores - Encapsulamiento
Pantalla de semiconductores
Iluminación de semiconductores
Semiconductores - Sistemas microelectromecánicos
Semiconductores de potencia
Semiconductores compuestos
Indicadores técnicos
| modelo | BV300 |
| Forma y tamaño de la interfaz del extremo de la brida | ISO-KF: DN40 y DN50; ISO-F: DN63, DN80, DN100, DN160 y DN200 |
| Tasa de fuga | 1 × 10E-9 mbar L/s |
| Rango de presión (a 20 ° c) | 1 × 10E-8mbar-1.2bar (abs) |
| Precisión del control de presión | 5 mV or 0.1%of setpoint, Tomar ambos |
| Señal de entrada del sensor | 0-10VDC |
| material | Cuerpo de la válvula / placa de la válvula: 316L / aluminio; Anillo de sellado: caucho flúor / perfluoruro |
| Resolución de posición | 12.800 (ángulo de 90 °) |
| Tiempo de respuesta | Interruptor no sellado: 0.2s; sellado: interruptor 0.6s |
| Interfaz de comunicación | D-Sub, DB-25 hembra, RS422/RS485, RS232, DeviceNet, EtherCAT |
| Interfaz de suministro de energía | D-Sub, DA-15 macho, +24 VDC (±10%) @ 0,5 V pk-pk max |
| Interfaz de Gálibo de vacío (interfaz del sensor) | D-Sub, DA-15 hembra |
| Temperatura ambiente de funcionamiento | 0 ° C a + 50 ° C Max. (recomendado inferior a 35 ° c) |
| Posición de instalación | Instalación horizontal y vertical |
Atención:
La válvula de mariposa generalmente calibra la señal del sensor con voltaje cuando sale de la fábrica.
La unidad de presión del gas se especifica como: Torr (torr); Mbar (mbar)
El Estado estándar se estipula como: temperatura - 273,15 K (0 ℃); Presión atmosférica - 101.325 pa (760 mm hg)
F.S. (escala completa): valor de rango completo; S.p. (set point): establecer un valor de punto fijo
