Sistema de litografía con máscara vpg + 1400 FpD

Sistema de litografía con máscara vpg + 1400 FpDEs un generador de patrones de volumen utilizado por el fabricante global de fotomáscaras para la producción en masa, con una eficiencia innovadora y una excelente calidad. Son los sistemas más grandes que hemos diseñado especialmente para la industria de la visualización, hechos a medida para patrones de alto rendimiento de grandes áreas de fotomáscaras, con un tamaño máximo de hasta g8.6 y un área máxima de exposición de 1400 x 1800 mm cuadrados. Son la mejor solución para los fabricantes que quieren lograr grandes logros en el sector de las pantallas planas.

El vpg + 1400 FpD está diseñado para alta calidad, exposición rápida y alineación extremadamente precisa. Están equipados con interferómetros diferenciales con una resolución tan baja como 1,2 nm. La optimización de Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución del disco, mientras que la Cámara ambiente de circuito cerrado cumple con los estrictos requisitos de la fabricación avanzada de fotomáscaras.

Sistema de litografía con máscara vpg + 1400 FpDAspectos destacados

Calidad de la exposición

Rugosidad del borde 20 nm; uniformidad local de CD 50 nm; red de direcciones 8 nm; corrección de mura; Detección de borde.

Estabilidad de la escritura

Cajas climáticas altamente estables, compensación climática en tiempo real y corrección de software pueden hacer frente a cualquier cambio ambiental.

Alineación automática

Paquete de software de medición, con funciones automáticas de calibración global y campo a campo, y corrección de distorsión. Matriz avanzada de corrección bidimensional para la calibración de la posición de la Plataforma y la coincidencia de herramientas.

Escalabilidad

Se puede ampliar fácilmente a varios tamaños, desde pequeños y medianos hasta máscaras de visualización g8.6.

Estación de control de Mura

Optimización de la distancia y la distancia entre paneles