Con el progreso de la tecnología de semiconductores y la aplicación cada vez más activa de láseres semiconductores en los campos de la comunicación y el procesamiento de la información, los tipos y cantidades de gases especiales utilizados en el proceso de fabricación están aumentando. Este sistema utiliza la cromatografía de gases, que puede detectar automáticamente trazas de impurezas y componentes en el gas de materiales semiconductores.
Se puede medir el germanio..GeH), fosfinaPH), arsénicoAsH), diclorosilanoDCS), triclorosilanoTCS) y otros componentes de impurezas en gases semiconductores.
La detección automática de alta precisión (operación simple) se puede realizar a través de un cromatógrafo de gas de alto rendimiento.
Se puede detectar hidrógeno..H2), oxígenoO2), nitrógenoN2), metanoCH4), monóxido de carbonoCO), dióxido de carbonoCO2),C2Componentes,C3Impurezas como componentes.
Se puede medir el germanio..GeH), fosfinaPH), arsénicoAsH), diclorosilanoDCS), triclorosilanoTCS) y otros componentes de impurezas en gases semiconductores.
La detección automática de alta precisión (operación simple) se puede realizar a través de un cromatógrafo de gas de alto rendimiento.
Se puede detectar hidrógeno..H2), oxígenoO2), nitrógenoN2), metanoCH4), monóxido de carbonoCO), dióxido de carbonoCO2),C2Componentes,C3Impurezas como componentes.
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La detección automática de alta precisión (operación simple) se puede realizar a través de un cromatógrafo de gas de alto rendimiento.
Se puede detectar hidrógeno..H2), oxígenoO2), nitrógenoN2), metanoCH4), monóxido de carbonoCO), dióxido de carbonoCO2),C2Componentes,C3Impurezas como componentes.