Amortiguador de vibración de aire activo TMC

NegociableActualización en01/09

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Naturaleza del fabricante: Productores

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Descripción general

Amortiguador de vibración de aire activo tmc, Electro-Damp Es el primer sistema comercial de aislamiento activo de vibraciones dedicado a mejorar el rendimiento, la resolución y la producción en aplicaciones de fabricación de semiconductores. El electro - damp II es un rediseño completo del sistema original, que añade modularidad, control digital, Feed - forward, ejecutores de alta potencia / alta brecha y múltiples interfaces de usuario digitales especialmente diseñadas para aplicaciones oem, como microclasificaciones, herramientas de detección y medición.

Detalles del producto

TMCEliminación activa de vibraciones por aireAparatoElectro-Humedad II

Electro-Damp ® Es el primer sistema comercial de aislamiento activo de vibraciones dedicado a mejorar el rendimiento, la resolución y la producción en aplicaciones de fabricación de semiconductores. El electro - damp II es un rediseño completo del sistema original, que añade modularidad, control digital, Feed - forward, ejecutores de alta potencia / alta brecha y múltiples interfaces de usuario digitales especialmente diseñadas para aplicaciones oem, como microclasificaciones, herramientas de detección y medición.

Las herramientas de fabricación de semiconductores plantean requisitos contradictorios para su sistema de aislamiento de vibraciones. Para hacer frente al ruido del suelo, el sistema debe ser lo suficientemente suave como para filtrar eficazmente las vibraciones del suelo y evitar que lleguen a la superficie de aislamiento de vibraciones. Al mismo tiempo, el sistema debe ser lo suficientemente duro como para hacer frente a la fuerza de la Mesa de trabajo para que el Movimiento de la Mesa de trabajo produzca un desplazamiento mínimo de la superficie de aislamiento de vibraciones y pueda estabilizarse rápidamente.

TMC主动空气消振器

Además de adoptar la inercia y la amortiguación de retroalimentación activa,Electric - damp II también utiliza la alimentación de información para mejorar aún más la respuesta del sistema. El Feed - forward obtiene información sobre la posición y aceleración de la Mesa de trabajo del controlador de la Mesa de trabajo, y luego procesa estos datos para proporcionar tracción de fuerza a la carga útil, reduciendo así considerablemente el Movimiento de la carga útil causado por la Mesa de trabajo. El sistema puede leer la información de alimentación de manera digital como señal analógica bipolar o leyendo la salida del codificador ortogonal. El controlador digital DC - 2000 también puede utilizar el modo de prueba de la Mesa de trabajo para ajustar automáticamente los parámetros necesarios para la alimentación hacia adelante. Esto permite una configuración rápida y sencilla durante la instalación inicial o después de cambiar la carga útil.

El diseño modular de Electric - damp II permite que el sistema se utilice solo con servomotores electrónicos (para aplicaciones pesadas y de baja aceleración, como cmm), solo con accionamiento electromagnético (para mesas de trabajo más ligeras con alta aceleración) o en combinación con ambos (para aplicaciones * exigentes).

TMCEliminación activa de vibraciones por aireAparatoElectro-Humedad IIcaracterística

● sistema de amortiguación activa de seis grados de libertad

● control electrónico de altura sin contacto

● controlador digital

● entrada de alimentación para corregir el Movimiento de la carga útil causado por la Mesa de trabajo

● Los ejecutores electromagnéticos de alta fuerza se pueden proporcionar por separado o integrarse en el sistema

● Reducir el tiempo de estabilización del Movimiento de la carga útil y el movimiento causado por la Mesa de trabajo

● Mejorar el rendimiento, la resolución y la producción

● el diseño modular permite al usuario * establecer una unidad o componente completo paraIntegración OEM

● ajuste automático de los parámetros de alimentación para reducir la configuración

especificación

General
Tiempo de Estabilización	0,2 segundos * *
Grado de libertad activa	6
Precisión de control de altura	< 10 µm ensensores>.
Ejecutores lineales (horizontales y verticales)
Resistencia DC	5 Ω
Constante de fuerza	Hasta 12 libras / AN \| 55 Niu / AN
Fuerza continua máxima	25 libras \| 110 vacas
Fuerza máxima @ 7 a	87 libras \| 385 bovinos
Constante de tiempo eléctrica	2,6 milisegundos
Itinerario	0,25 pulgadas \| 6,4 mm
Brecha transversal	0,09 pulgadas \| 2,3 mm
Campo disperso	< 1 G @ 2en.d>.
Tamaño (ancho x profundidad X altura)	2,8 x 6,8 x 4,5 pulgadas 71 x 173 x 114 mm
Válvulas (solo activas)
Tipo de válvula	Servoing proporcional E / V
Tipo de control	Presión o flujo de aire
Caudal máximo	1.5 SCFM
Consumo de gas (4 amortiguadores de vibración)	< 2 SCFM (sin movimiento de escenario)d>
- respuesta de 3 DB	≤ 10 Hz (valor típico).
Sensores de control de altura
entrada	Inducción sin contacto (vórtice)
Configuración electrónica	Namur de doble línea Tres líneas de 30 o 18 mm de diámetro
Alcance	Nominal 15 MM para cables de 30 mm Nominal 6 mm para cables de 18 mm
resolución	< 1 µmd>
Asiento de montaje neumático movido
Capacidad de carga estándar	1000, 2500, 3300, 5700 libras @ 80 PSI
Amortiguación (10: 1)	< 3sd>.
Controlador digital DC - 2020
Procesador	Doble núcleo: DSP a 150 MHz y Cortex M3 a 75 MHz
I / o simulado	Canal 32 / 24 (16 / 16 bits)
Tasa de muestreo	El valor nominal es de 5 kHz
Panel frontal	Interruptor de alimentación Indicador de Estado de 3 colores Ethernet RJ - 45 Ranuras para tarjetas microsd 2 enchufes BNC (cada uno puede servir como entrada o salida) 2 puertos USB 2.0 (tipo B y micro b) Botón de actualización FW
Panel trasero	Entrada de energía Enchufe analógico de E / s Puerto neumático Ethernet RJ - 45 1 USB 2.0 RS-232 DB 9 Enchufe de relé
Interfaz de usuario	Gui a través de USB o Ethernet
Fuente de alimentación	90-240 VAC，50-60 Hz， Hasta 100 W
Tamaño (ancho x profundidad X altura)	16,8 x 9,0 x 1,75 pulgadas 427 x 229 x 45 mm 1 unidad retma estándar
Amplificador de potencia
通道	8
Corriente máxima por canal	7 A
entrada	lineal
Potencia máxima	Un total de 700 vatios
enfriamiento	Ambiente, ventilación obligatoria
proteger	Fusibles restaurables, protección térmica electrónica, sobrecorriente, bajo tensión
operación	Control remoto o manual
tamaño	1 altura de la unidad del bastidor retma x 15 pulgadas (381 mm) de profundidad

Instrucciones de aplicación

Electro-Hump®

EnPrecitechMedición de 3 ejes (xyz) con PEPS II - VX en la máquina herramienta de ultraprecisión FreeForm l

TMC主动空气消振器

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