Válvula de vacío IVA Suiza - dispositivo de múltiples válvulas de vacío

Válvula de vacío IVA Suiza - dispositivo de múltiples válvulas de vacío

El iva suizo es un fabricante de válvulas de vacío, centrándose en el diseño y producción de válvulas de vacío de alta precisión. los productos son ampliamente utilizados en semiconductores, fotovoltaica, pantalla plana, investigación científica y otros campos, conocidos por su alta fiabilidad, larga vida útil y rendimiento de sellado.

1. antecedentes de la empresa

El iva suizo es un fabricante de válvulas de vacío, centrándose en el diseño y producción de válvulas de vacío de alta precisión. los productos son ampliamente utilizados en semiconductores, fotovoltaica, pantalla plana, investigación científica y otros campos, conocidos por su alta fiabilidad, larga vida útil y rendimiento de sellado.

2. gama de productos básicos

(1) productos de válvula única

• serie de modelos:

• válvula angular(como la serie VAT 54): adecuado para ambientes de alto vacío (hv) y ultra alto vacío (uhv).

• Válvula directa(como la serie VAT 47): diseño de baja resistencia al flujo, adecuado para bombeo rápido al vacío.

• Válvula de compuerta(como la serie VAT 19): sello metálico, resistente a altas temperaturas (hasta 450 ° c), para cámaras de proceso de semiconductores.

• Válvula reguladora: control preciso del flujo de gas para el ajuste de la presión del proceso.

• Parámetros técnicos:

• Tasa de fuga: < 10⁻ mbar · L / S (sello metálico).

• Materiales: acero inoxidable, aleación de aluminio, chapado en níquel o pulido electrolítico en la superficie.

• Modo de conducción: neumático, eléctrico o manual.

(2) dispositivos multiválvulas (sistemas multivalve)

• Características del diseño:

• Integrar varias válvulas (como válvulas de aislamiento, válvulas de bombeo lateral y válvulas de bomba principal) en un solo módulo para simplificar el diseño del sistema de vacío.

• Diseño modular, soporte para combinaciones personalizadas (como VAT lockfast) ® Serie).

• Respuesta rápida (el tiempo de conmutación puede ser tan bajo como 50 ms).

• Aplicaciones típicas:

• Aislamiento de múltiples cámaras de equipos de grabado / depósito de semiconductores.

• Cambio de ruta de vacío del sistema de recubrimiento fotovoltaico.

3. ventajas tecnológicas básicas

• Tecnología de sellado:

• Los sellos metálicos (materiales inelásticos) son adecuados para ambientes de alta temperatura y corrosivos.

• Los sellos elásticos (como el caucho flúor) se utilizan en aplicaciones económicas.

• Sistema de accionamiento:

• El ejecutor neumático está equipado con un diseño estándar a prueba de explosiones, y el ejecutor eléctrico soporta el control Plc.

• Control inteligente:

• Soporte de protocolos industriales como profinet y ethercat para monitorear el Estado de la válvula en tiempo real.

4. áreas de aplicación típicas

• Fabricación de semiconductores: Cámara de transmisión de obleas, equipo de grabado.

• Industria fotovoltaicaAislamiento al vacío de equipos pecvd y ald.

• Dispositivo de investigación científica: fuente de luz de radiación sincrotrón, acelerador de partículas.

• Vacío Industrial: máquina de recubrimiento, equipo de tratamiento térmico.

5. referencia de selección

• Parámetros clave:

• Tamaño del diámetro (dn16 a dn400).

• Rango de presión (de la presión atmosférica a 10 mbar).

• Gases compatibles (corrosivos / inertes).

• Criterios de certificación:

• Semi F47 (estándar de fluctuación de voltaje para equipos semiconductores).

• Certificación CE / ul.

6. servicios y apoyo

• Proporcionar diseño personalizado, entrega rápida y soporte técnico global.

• Selección asistida por herramientas de configuración en línea, como el configurador de iva.

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