Medidor de espesor del diafragma de obleas de interferencia de División de luz

NegociableActualización en05/07

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Naturaleza del fabricante: Productores

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Descripción general

Medidor de espesor de película de obleas de interferencia de luz dividida $r $n detección instantánea de los cambios de espesor del sustrato de wafer en el proceso de molienda en el proceso de adelgazamiento del sustrato de vidrio de espesor de película en el proceso de adelgazamiento (en un ambiente ácido fuerte) características del producto detección de espesor de película óptica sin contacto y no destructiva utilizando el método de interferencia de luz dividida para lograr la reproducibilidad de alta detección

Detalles del producto

Medidor de espesor del diafragma de obleas de interferencia de División de luz

Detección instantánea de los cambios de espesor de los sustratos de vidrio de espesor de película en el proceso de molienda en el proceso de adelgazamiento (en un ambiente ácido fuerte) características del producto detección óptica de espesor de película sin contacto y no destructiva mediante interferencia óptica dividida para lograr la reproducibilidad de la detección de altura

Características del producto

● detección óptica sin contacto y no destructiva del espesor de la película
● reproducción de detección de altura mediante interferencia óptica dividida
● se pueden realizar pruebas de molienda instantánea de alta velocidad
● detección que puede cruzar capas intermedias como películas protectoras y ventanas de Observación
● puede corresponder a una larga distancia de trabajo y es fácil de instalar en la línea de producción o el equipo.
● pequeño tamaño, ahorro de espacio y fácil instalación de equipos
● puede corresponder a la demanda de activación de señales externas detectadas en línea
● se utiliza un algoritmo analítico único adecuado para la detección del espesor de la película.
● se puede cartografiar automáticamente la distribución del espesor de la película (selección de proyectos)

Especificaciones y estilo

modelo	SF-3/200	SF-3/300	SF-3/800	SF-3/1300
tamaño	123 (W) x 224 (D) x 128 (H) mm
Rango de espesor de medición de pastillas de silicio	6 ~ 400 μm	10 ~ 775 μm	20 ~ 1000μm	50 ~ 1300 μm
Rango de espesor de la resina	10 ~ 1000μm	20 ~ 1500 μm	40 ~ 2000 μm	100 ~ 2600 μm
Ciclo mínimo de muestreo	5kHz (200μsec)
Precisión repetida	Menos del 0,01% (* 1)
Medir el diámetro del punto de luz	Más de Phi 20 μm (* 2)
Distancia de medición	50 、80、120、150 、200mm
Fuente de luz	Fuente de luz semiconductora (láser classi3b)
Método de análisis	Método de análisis FFT
interfaz	Lan, Puerto I / o
Fuente de alimentación	Dc24v (la fuente de alimentación de CA debe comprarse por separado)
Selección de accesorios	Manguito de distancia de prueba múltiple, unidad de alimentación (para ca), referencia al, objetivo de detección de luz de prueba, limpiador de fibra óptica

* 1: desviación estándar relativa de la muestra estándar inicial a la medición de la brecha de aire de aproximadamente 1000 micras (n = 20)

* 2: valor de diseño a la especificación de la sonda wd80 mm

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