Medidor de espesor de película

Medidor de espesor de película

Medidor de espesor de película

El rango de medición de la película delgada especial de la información del producto a la película gruesa, El medidor de película óptica de bajo costo de alto rendimiento de análisis espectral ultravioleta a NIR hereda completamente el 90% del modelo fe - 3000 mediante análisis espectral de reflectividad absoluta. la función * no tiene configuración compleja y la operación es simple.

Longitud especial

● apoyar todo tipo de espesor de película, desde la película hasta la película gruesa

● análisis del espesor de la película utilizando espectros de reflexión

● lograr mediciones de alta precisión sin contacto y sin daños, con pequeño tamaño y bajo precio

¡● configuración simple de las condiciones y operación de medición! Cualquiera puede medir fácilmente el espesor de la película

● a través del método Pico - valle, el método de análisis de frecuencia, el método de mínimos cuadrados no lineales, el método de optimización, etc., se pueden realizar diversas mediciones del espesor de la película.

● El algoritmo de análisis de espesor de película de mínimos cuadrados no lineales puede realizar análisis de constantes ópticas (n: índice de refracción, k: conteo de extinción).

Proyecto de medición

Medición de la reflectividad absoluta

Análisis del espesor de la película (10 capas)

Análisis de constantes ópticas (n: índice de refracción, k: conteo de extinción)

Objeto de medición

Película funcional, plástico
Película conductora transparente (ito, nanolínea de plata), película de diferencia de fase, película de polarización, película ar, PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、 Adhesivos, adhesivos, películas protectoras, recubrimientos duros, huellas dactilares, etc.

Semiconductores
Semiconductores compuestos, Si、 Película de óxido, película de nitruro, Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、SOI、 Zafiro, etc.

Tratamiento superficial
Recubrimiento dlc, antioxidante, antiniebla, etc.

Materiales ópticos
Filtro, película antirreflectante, etc.

FPD
LCD (cf, ito, lc, pi), OLED (película orgánica, material de embalaje), etc.

otros
HDD、 Cintas, materiales de construcción, etc.

Principio de medición

Otsuka Electronics utiliza un interferómetro óptico y su propio espectrómetro de alta precisión para realizar mediciones de espesor de película sin contacto, no destructivas, de alta velocidad y de alta precisión. La interferometría óptica es un método para determinar el espesor de la película óptica utilizando la reflectividad obtenida por el sistema óptico del espectrómetro, como se muestra en la figura 2. En el caso de una película aplicada sobre un sustrato metálico, como se muestra en la figura 1, la luz incidente por encima de la muestra objetivo se refleja en la superficie de la película (r1). Además, la luz que atraviesa la película se refleja en el sustrato (metal) y en la interfaz de la película (r2). El método para medir la interferencia óptica causada por el cambio de fase causado por la diferencia de trayectoria óptica en este momento y calcular el espesor de la película de acuerdo con el espectro de reflexión y el índice de refracción obtenidos se llama método de interferencia óptica. Hay cuatro métodos de análisis: método Pico - valle, método de análisis de frecuencia, método de mínimos cuadrados no lineales y método de optimización.

especificación