Equipo de cristal largo de carburo de silicio sic

Equipo de cristal largo de carburo de silicio sic

Es lograr una alta calidadSiCEquipos profesionales para el crecimiento de cristales, la síntesis de materias primas de alta pureza y el tratamiento térmico de cristales de alta temperatura. Ampliamente utilizado enSiCEn los campos del crecimiento de cristales, la síntesis de materias primas y el tratamiento térmico de cristales. Se pueden cultivar lingotes de 6 / 8 pulgadas.

Equipo de cristal largo de carburo de silicio sic

El sistema de cavidad del horno de vacío está limitado a ≤ 5,0e - 5pa en el fondo, y la tasa de aumento de presión es ≤ 3pa / 12h, lo que garantiza la estabilidad del crecimiento del cristal.

. sistema inteligente de crecimiento y monitoreo para lograr una variedad de personalización precisa de procesos, optimización de procesos, monitoreo en tiempo real de todo el proceso de cristal largo, archivo de visualización de datos

. El diseño de una nueva bobina de calentamiento por inducción mejora efectivamente la uniformidad y estabilidad del calentamiento en el campo térmico.
. El sistema de autoinspección PIM creado por 1st en la industria, que se reduce efectivamentePérdida de tiempo en el proceso
. sistema de refrigeración por agua estable y confiable, logrando vías navegablesEl monitoreo en tiempo real de la temperatura y el flujo de la tubería garantiza la estabilidad del campo de temperatura ambiente de crecimiento.
. se pueden producir sustratos de carburo de silicio de grado P de 6 pulgadas, microtubosDensidad de defectos inferior a 0,5 / CM²Con una resistencia de 0015 - 00280