Sistema de pecvd de plasma de zona de temperatura única de Shanghai maffer Furnace Technology

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Descripción general

Mflpecvd408 - 12 es un sistema de horno tubular con sistema pecvd. Consta de un horno de tubo de vacío, una fuente de alimentación de radiofrecuencia, un sistema de suministro de gas y un sistema de vacío. La temperatura máxima puede alcanzar los 1.200 grados, utilizando un instrumento de control de temperatura de programa de 30 secciones, un par de tipo K y un horno de fibra cerámica de alúmina de alta pureza. este dispositivo se puede utilizar para el crecimiento de nanocables o para la preparación de varias películas delgadas mediante el método cvd.

Detalles del producto

I,Descripción del producto

En segundo lugar,Características del producto

1. convertir el gas en la Cámara de vacío de cuarzo en un Estado Ion a través de una fuente de alimentación de radiofrecuencia.
2. el pecvd requiere una temperatura más baja que el CVD ordinario para la deposición química en fase de vapor.
3. el tamaño del estrés de la película depositada se puede controlar a través de la frecuencia de la fuente de alimentación de radiofrecuencia.
4. el pecvd tiene una tasa de depósito químico de vapor más alta, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad que el CVD ordinario.
5. ampliamente utilizado en: crecimiento de varias películas delgadas, como: siox, sinx, sioxny y silicio estereotipado (a - si: h), etc.

II. parámetros técnicos

Modelo del dispositivo	MFLPECVD408-12
Horno de tubo	Rango de control de temperatura	Temperatura ambiente - 1200 ° C
	Temperatura de trabajo	≤1100℃
	Longitud de la zona de calentamiento	400 mm
	Tubo de cuarzo	Diámetro 80 mm, longitud 1400 mm (el diámetro del tubo es opcional 50, 60100)
	Precisión del control de temperatura	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	Fluctuación de la temperatura constante	± 1 ° c (el punto de prueba es de 1000 ° c)
	Velocidad de calentamiento	Se recomienda ≤ 10 ° C / MIN por debajo de 1000 grados, y la velocidad de calentamiento más rápida ≤ 30 ° C / min.
	Velocidad de enfriamiento	Por encima de 700 ° C ≤ 10 ° C / min
	Temperatura de la Mesa del horno	La temperatura de la superficie del horno es inferior a la temperatura ambiente + 10 (el punto de medición es de 1000 ℃)
	Elemento de medición de temperatura	Termómetro tipo K
	Modo de control de temperatura	Control difuso de la EIP y ajuste de ajuste automático, control inteligente programable de 30 secciones, con función de alarma de corte de pareja súper suave
	Tensión y potencia	220V 3KW
Sistema de suministro de gas	Canal de vía de gas	Ruta 4
	Control de flujo de la carretera de gas	Controlador de flujo de protones (medidor de flujo de siete estrellas)
	Precisión de control	± 1,5% F.S.
	Precisión repetida	± 0,2% F.S.
	Rango de flujo	1-500 SCCM
	Manómetro mecánico	Un manómetro mecánico está en el panel y está conectado con el riego de gas Mixto en el rango: - 0,1 a 0,15 MPA



Sistema de vacío Opción 1 (bajo vacío: bomba mecánica)	Fuente de alimentación	220V
	Vacío límite	5X10^-1Pa
	Tasa de extracción	2 litros / segundo
	Válvula de deflector de vacío	KF25
	modelo	VRD-8
	Potencia del motor	0.4KW
Sistema de vacío Opción 2 (alto vacío: bomba mecánica + unidad de bomba molecular)	modelo	GZK-16-600
	Fuente de alimentación	AC100-240 50/60HZ
	potencia	1 KW
	peso	25 kg
	Presión límite	*1.0 10-4Pa**
	Interfaz de entrada y salida	KF40
	Caudal máximo del enfriador de agua	10L / MIN
	Medidor de vacío	Medidor de vacío compuesto
	vacíoPrecisión de control	± 1%
	Rango de medición del medidor de vacío	1.0x10 - 1.0x10-5pa
Fuente de alimentación (generador de plasma)	Rango de salida de potencia	0-500W
	Estabilidad de potencia	≤±5W
	Frecuencia de trabajo	Radiofrecuencia:13,56MHZ ± 0,005%
	Método de coincidencia	automático
	Modo de enfriamiento	Frío por aire
	Ruido	< 50 dB







seguridad	Entorno de trabajo	RT ± 5-40 ℃
	Garantía de uso	Apertura de la puerta, Corte de energía, alarma de sobrecalentamiento, protección de fugas, protección de sobrecalentamiento




	Horno de tubo	un
Lista de fábrica	Sistema de vacío	un conjunto
	Sistema de suministro de gas	un conjunto
	Fuente de alimentación de radiofrecuencia	un conjunto
	Guantes de alta temperatura	Un par de caston
	Gancho de horno	Un puñado
	Tráquea	Uno
	Instrucciones del equipo	una porción
	Instrucciones del instrumento	una porción
	Tarjeta de garantía	una porción
Compras	Estante móvil	acero inoxidable
Compras	Instrumento inteligente de pantalla táctil	Programación de 50 secciones, que puede conectarse a la computadora. A través de un sistema de control informático especial, se completan las funciones de control remoto, seguimiento en tiempo real, registro histórico e informe de salida con una o más hornos eléctricos.

Nota: el diámetro del tubo es opcional: 50 / 60 / 80 / 100 / 120 / 150 / 200 / 300 mm,

La zona de temperatura se puede hacer en zonas de doble temperatura, zonas de tres temperatura y otras zonas de temperatura múltiple.

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