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Soluciones de detección para la industria de semiconductores

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Soluciones de detección de la industria de semiconductores: proporcionar soluciones especiales de inspección y medición para procesos relacionados con el corte y garantizar la fiabilidad del producto final es una tarea crucial. La detección de alta velocidad de defectos como canales de corte, grietas, arañazos, partículas de impurezas y ausencia de Die requiere el uso integral de una variedad de medios y estrategias técnicas para garantizar la calidad del producto y la eficiencia de la producción.
Detalles del producto

Soluciones de detección para la industria de semiconductores


Dispositivo Aoi framed wafer totalmente automático

ProEye 01

半导体行业检测解决方案

Proporcionar soluciones especiales de inspección y medición para los procesos relacionados con el corte y garantizar la fiabilidad del producto final es una tarea crucial. La detección de alta velocidad de defectos como canales de corte, grietas, arañazos, partículas de impurezas y ausencia de Die requiere el uso integral de una variedad de medios y estrategias técnicas para garantizar la calidad del producto y la eficiencia de la producción.


半导体行业检测解决方案

Dispositivo Aoi infrarrojo de obleas totalmente automático

ProEye 02

半导体行业检测解决方案


Los equipos que utilizan sistemas ópticos infrarrojos autónomosLa función y el diseño satisfacen las necesidades precisas de luz infrarroja y visible en diversas aplicaciones de detección. Este sistema no solo integra componentes ópticos profesionales y ricos, sino que también tieneLa calidad de la imagen garantiza así la precisión y fiabilidad de los resultados de las pruebas.


半导体行业检测解决方案

Dispositivo Aoi de obleas totalmente automático

ProEye 03

半导体行业检测解决方案


Este equipo es desarrollado independientemente y tieneEl sistema de detección de obleas de propiedad intelectual independiente está diseñado especialmente para escenarios que requieren automatización, alta eficiencia y alta precisión en los procesos de producción de wafer y chip. Analizamos en profundidad las características de todo tipo de muestras, optimizamos finamente la precisión de detección de defectos, la estabilidad de detección y la facilidad de operación, y nos esforzamos por satisfacer las diversas necesidades de detección. El equipo proporciona dos modos de operación, automático y manual, que no sólo se pueden utilizar como equipos de producción eficientes y estables, sino también como herramientas de I + D flexibles y convenientes para proporcionar a los usuarios.Soluciones de detección.

半导体行业检测解决方案

Equipo de adquisición óptica de obleas semiautomáticas

El público está


半导体行业检测解决方案


Spectrview SA es un esquema de microautomatización desarrollado independientemente por Xili Technology que integra una plataforma de movimiento de alta precisión, un módulo de enfoque activo láser, un microcontrol óptico y algoritmos avanzados de procesamiento de imágenes, especialmente para la adquisición automática de imágenes de obleas en el proceso de fabricación de semiconductores, detección y análisis completos y precisos.


半导体行业检测解决方案

半导体行业检测解决方案

半导体行业检测解决方案

Soluciones de detección para la industria de semiconductoresEspecificaciones técnicas

Tipo de obleas wafer tipo

Obleas desnudas RAW Wafer

Obleas de marco framed Wafer


Tamaño de la obleas wafer tamaño

6' (150 mm) 8' (200 mm)


Iluminación de la iluminación

Campo brillante / campo oscuro / híbrido


Ampliación de la lente objetivo Magni

2X 5X 7,5X

10X

Resolución de la imagen (micra / pixel) resolución de la imagen

1600 0640 427

0.320

Campo de visión de la Cámara (mm) campo de visión

11,20 x 11,20 4,48 x 4,48 2,98 x 2,98

2,24 x 2,24

Capacidad máxima (wph @ 8 ') Max Throughput

90 15 7

4

Precisión de detección inspección precisión de detección

Hasta 0,5 um (CD) / 1,0 um (defecto), @ 10X


Tasa de rotura tasa de rotura

< 10 ppm