Espesor de la película reflectante Sr - Mapping

I. reseña

SR-MapeoMedidor de espesor de película reflectanteSerieLas mediciones no destructivas se realizan utilizando el principio de interferencia reflectante. al analizar el espectro de reflexión formado por la interferencia entre la luz reflejada en la superficie de la película y la luz reflejada en la interfaz del sustrato, junto con la Mesa de desplazamiento R - theta, compatible con muestras de 6 a 12 pulgadas, se puede escanear rápidamente toda la muestra, medir el espesor de la película, las constantes ópticas y otra información de manera rápida y precisa, y evaluar la uniformidad del espesor de la película.

■Soluciones de medición de películas ópticasV;

■ medición sin contacto y sin daños;

■ El algoritmo central admite el análisis de películas finas a películas gruesas, de una sola capa a varias capas;

■ precisión de medición repetitiva del espesor de la película: 0,02 nm

■ medición totalmente automática, los puntos de medición y la posición se pueden editar según sea necesario en recipe.

■Se utiliza una fuente de luz halógeno de alta intensidad, que cubre el rango de luz visible ultravioleta a infrarrojo cercano;

■ adopta un diseño altamente integrado electromecánico óptico, de pequeño tamaño y fácil operación;

■ basado en el principio de interferencia de la luz reflejada entre la interfaz superior e inferior de la capa de película delgada, se analiza fácilmente la película de una sola capa a varias capas;

■Configurar un fuerte algoritmo de análisis central: análisis FFT de película gruesa, análisis de ajuste de curva para analizar la información de parámetros físicos de la película;

III. aplicaciones de productos

Ampliamente utilizado en la medición de películas protectoras aislantes, películas orgánicas, películas inorgánicas, películas metálicas, recubrimientos y otras películas..

Parámetros técnicos