Elipsometro espectral me - Mapping

I. reseña

ME-MapeoEl elipsometro espectral es un elipsometro espectral de medición de dibujo de Mapping personalizado, equipado con un módulo de medición de Mapping totalmente automático, a través de la medición de parámetros de elipsometría, transmisión / reflectividad y otros parámetros, se realiza rápidamente la caracterización y análisis de la medición de dibujo personalizado del espesor de la película de base completa de la película y Los parámetros ópticos.

■Solución de medición de dibujo elíptico de todo el sustrato;

■ apoyar el diseño del producto y la personalización de módulos funcionales, dibujando y midiendo con un solo clic;

■ configurar el módulo mapping y personalizar la capacidad de medición de posicionamiento multipunto en todo el sustrato;

■ una rica base de datos y una base de datos de modelos de estructura geométrica garantizan una fuerte capacidad de análisis de datos.

II. características del producto

■Se utiliza una fuente de luz compuesta de lámparas de deuterio y lámparas de halógeno, y el espectro cubre el rango ultravioleta a infrarrojo cercano (193 - 25000 nm);

■Modulación de compensación giratoria de alta precisión, configuración pcrsa, realización de la adquisición de datos espectrales PSI / Delta a alta velocidad;

■Tiene la capacidad de posicionamiento automático multipunto personalizado de todo el sustrato y proporciona un informe de análisis de detección de espesor de toda la máscara;

■Cientos de bases de datos de materiales y una variedad de bases de datos de modelos algorítmicos cubren la mayoría de los materiales fotoeléctricos actuales.

III. aplicaciones de productos

Me - Maping es ampliamente utilizado en oled, led, fotovoltaica, circuitos integrados y otras aplicaciones industriales para lograr una medición y caracterización rápidas del espesor de la película, las constantes ópticas y la distribución del espesor de la película en sustratos de gran tamaño.

Accesorios opcionales

Parámetros técnicos